真空烘箱使用流程
1、将物料均匀放入真空烘箱附带的烘箱内，将烘盘插入烘架车中，推入干燥箱内。 2、如果采用蒸气加热或水加热的方式，则需用快接将专用烘架车(上下口)的两个加热口，与水或蒸气的所口接好。垂直送风：适用于烘烤放置在网架上的物件，垂直送风热风是由上而下吹出，由于是网架，真个上下流通性会很好，使得热风可完全沐浴在物件上。 3、关紧箱门，放气阀，箱门上有螺栓，可使箱门与硅胶密封条紧密结合。 4、将真空泵与真空阀连接，开启真空阀，抽真空。 5、依据真空泵的性能，抽到压力表为真空泵的极限值为准。 6、抽完真空后，先将真空阀门关闭，如果真空阀门关不紧，请更换，然后再将真空泵电源关闭或移除。(防止倒吸现象产生) 7、本所物料的干燥周期，每隔一段时间观察一下，历力表，温度表，和箱体内的变化，来处理。如果压力表指数下降，则可能存在漏气现象，可再进行抽气操作。 8、干燥完成后，先将放气阀打开，放出里面气体，再进行打开烘门，取出物料
烘箱选型依据及理由 因为烘箱用在光刻工艺， 所以对其的洁净度要求比较高， 同时用于膜的固化 等工艺， 保持片内的均匀性、 温控系统也是要求较高。 烘箱的生产厂家国内和国 外都比较多， 用途也是多元化的， 从价格角度考虑， 则把国内生产的烘箱放在首 位， 因为不论是***服务还是备件购买都会相对容易一些， 价格很低很多。 但光 刻工艺中要求严格控制烘箱产生的颗粒度。相反，放置在托盘中烘烤的物件用垂直送风是很不适宜的，垂直送风热风是由上而下吹出，它会把热风挡住，从而热风沐浴不到下面几层，相应烘烤效果会很差。
烘箱的***
1.烘箱应安放在室内干燥和水平处，防止振动和腐蚀。
2.要注意安全用电，根据琴益烘箱耗电功率安装足够容量的电源闸刀。选用足够的电源导线，并应有良好的接地线。
3.带有电接点水1银温度计式温控器的烘箱应将电接点温度计的两根导线分别接至箱顶的两个接线柱上。另将一支普通水1银温度计插入排气阀中，(排气阀中的温度计是用来校对电接点水1银温度计和观察箱内实际温度用的)打开排气阀的孔。调节电接点水1银温度计至所需温度后紧固钢帽上的螺丝，以达到恒温的目的。但必须注意调节时切勿将指示铁旋至刻度尺外。蒸汽经热交换器加热空气，干净的热空气由风机送入烘箱，使物料干燥。
