优点：直接燃烧法工艺简单、设备***小，适用高浓度、小风量的废气治理。缺点：能耗大，运行成本较高；运行技术要求高，不易控制与掌握，在国内基本未获推广。
一般工厂的废气都比较复杂，如含硫、含氮的废气，也会有含炭的有机废气，而无机废气和有机废气因为理化性质的不同，需要区别对待。处污原理:低温等离子废气处理设备里的介质阻挡放电过程中，等离子体内部产生富含极高化学活性的粒子，如电子、离子、臭氧和激发态分子等。当污染气体浓度很高时，会对植物孕育发生急性危害，使植物叶外貌孕育发生伤斑，大概直接使叶枯萎脱落；
湿法脱硫具有设备小操作较容易、脱硫等优点，但工艺废水量和渣泥量大，经营费用不低，且脱硫后烟气温度低，不利于烟囱排气的扩散，在实际处理工业VOCs过程中，这种低温等离子体技术设备对有机废气的降解基本无效和会生成污染副产物，其降解效率较低，酸雾气体造成的大气污染对***造成的伤害较大, 尤其是对现场的操作工人、工厂附近的农作物、土壤造成直接的损害及间接影响是无法衡量的。
