1）火花鉴别法。在热处理生产中有经验的检验人员和热处理工，都能靠观察材料被砂轮磨削时产生的火花特征来鉴别零件材料的化学成分。
2）光谱分析法。用光谱仪可以测量和记录出不同元素的谱线的波长和强度，高频热处理加工厂，对照谱线表即可得出材料中所含元素及含量。
3）化学分析法。在实验室用化学分析的方法可以准确地分析出金属材料中所有元素的含量，这种方法在工厂中比较常用。
4）微区化学成分分析。微区化学成分分析的方法由电子探针x射线分析，俄歇电子能谱分析，离子探针分析等方法。
化学热处理是通过改变工件表层化学成分、***和性能的金属热处理工艺。化学热处理与表面热处理不同之处是后者改变了工件表层的化学成分。化学热处理是将工件放在含碳、氮或其它合金元素的介质(气体、液体、固体)中加热，保温较长时间，从而使工件表层渗入碳、氮、硼和铬等元素。渗入元素后，高频热处理厂，有时还要进行其它热处理工艺如淬火及回火。化学热处理的主要方法有渗碳、渗氮、渗金属。
利用金属在真空状态下的变相特点，高频热处理厂家，在与大气压只差0.1MPa范围内的真空下，固态相变热力学、动力学不产生什么变化。在制订真空热处理工艺规程时，高频热处理，完全可以依据在常压下固态相变的原理，完全可以参考常压下各种类型***转变的数据。同时，在真空脱气作用下，可以提高金属材料的物理性能和力学性能，在真空状态下加热，金属工件表面元素会发生蒸发现象。金属实现无氧化加热所需的真空度，表面净化作用，实现少无氧化和少无脱。
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