凌净(厦门)环境科技有限公司提供各类净化等级洁净厂房、洁净车间、洁净***室、实验室等净化工程、***空调系统工程、恒温恒湿精密空调工程、高低温冷库工程,设计、安装、施工、调试、维护以及销售实验室设备耗材,洁净设备耗材等。
随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
在其他洁净空间中的气流速度在讨论具体设备时再说明。对于乱流洁净室 由于主主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,所以主要用换气次数这一概念,而不直接用速度的概念,不过对室内气流速度也有如下要求:送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减更快,扩散角度更大。
层流式空气气流运动成一均匀之直线型,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用,一般其洁净室等级为Class1~100。其型式可分为二种:(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。