真空系统。是由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统。目前，该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。该真空系统出厂时已经包括了抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示、运行保护及远程控制接口等。只需要在现场进行简单的连接电源和管道，即可以组成一个完整的真空系统。该真空系统的控制系统由***的PLC控制系统经过编程后组成，以触摸屏为人机界面，实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。
具体步骤： 1.拧下悬架体上的放油螺塞，HYCO真空泵维修电话，放净润滑油，移开电机。 2.松开真空泵体和轴承体的连接螺栓，将叶轮、轴封体、轴承体与真空泵体分离。 3.松开叶轮螺母，取出叶轮和平件键。 4.取出轴封体和密封部分，将机械密封的静环取出，填料密封的卸下填料盖取出填料即可。 5.从轴上取下机械密封的转动部分和轴套，填料密封的取下轴套即可。 6.拆下轴承体的支架及联轴器。 7.拆下轴承压盖、甩橡胶圈、真空泵轴及轴承。
不同真空泵的真空系统要求的真空度不同。因此往往必须由一套真空机组来完成，即由工作在不同压力范围的真空泵串接起来。高真空一侧的真空泵能达到系统要求的真空度，而低真空一侧的真空泵是直排大气的。显然简单的真空机组就是一台直排大气的真空泵。但高真空系统一般需要三级机组，中真空一般需要二级机组。
真空泵选择要分析判定被抽物体的成分： 1.被抽物体是气体、液体还是颗粒，如果被抽气体中含有水汽或少量颗粒性和粉尘等杂质，慎选旋片式真空泵，如果真空度要求较高，则应加过滤装置加以过滤方能使用旋片式真空泵做真空设备。
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