由于超声波清洗的原理是空化效应，所以其性能验证主要是验证空化效应，目的是看清洗槽内声场强度是否存在盲区。我们可以用铝箔腐蚀方法进行超声波清洗机性能验证，将20-30微米厚的铝箔纸放在支架上，垂直放置在清洗槽内，不要碰到底部。
机器启动一段时间后，铝箔表面不同部位的腐蚀程度可以间接反映出超声波强度的深度是否均匀。如果要检测超声波在水平方向上的强度分布，可以将铝箔水平放置。该方法直观、简便，但不能定量检测，误差较大。在装填设备的条件下难以进行试验，可能与碱性清洗剂发生化学反应。
超声波清洗设备的工艺及清洗液的选择
1.明确被洗件的材料构成、结构和数量.
2.分析并明确要清除的污物.
3.决定所要使用的清洗方法，判断应用水性清洗液还是用溶剂，终需做清洗实验。
只有这样，才能提供合适的清洗系统、设计合理的清洗工序以及清洗液。
超声波清洗设备在一定程度上需要考虑到清洗液的物理特性对超声清洗的影响，在进行使用时其中蒸汽压、表面张力、黏度以及密度应为显着的影响因素。温度能影响这些因素，所以它也会影响空化作用的效率。
超声波清洗设备在工作的过程中其任何清洗系统必须使用清洗液，在使用时其水性系统通常由敞口槽组成，工件浸没其中。而复杂的系统会由多个槽组成，并配备循环过滤系统、冲淋槽、干燥槽以及其它附件。
使用溶剂的系统，多为超声波汽相除油脂清洗机，常配备废液连续回收装置。超声波汽相清除油脂过程是由溶剂蒸发槽和超声浸洗槽组成的集成式多槽系统完成的。在热的溶剂蒸汽和超声激荡共同作用下，油、脂、蜡以及其他溶於溶剂的污垢就被除去。经过一系列清洗工序后下料的工件发热、洁净、干燥。
