呈游离状态的污染物离子极易与O3产生氧化反应，生成简单、低害或无害的物质，如 CO2、H2O 等，以达到废气净化处理的目的。由于工业生产过程中不可避免的会产生各种有机废气，为了环境和人类的健康，工业生产厂家就应该在了解有机废气治理哪家***之后，根据自己的生产内容以及产生的有机废气类型选择合适的治理方案。用紫外光解方式获得的臭氧，因获得复合离子光子的能量后，能极为迅速地分解，分解后产生氧化性更强的自由基O、OH和H2O。自由基 O、OH 和 H2O 与恶臭气体发生一系列协同、连锁反应，恶臭气体终被氧化降解为低分子物质、CO2 和 H2O，而达到除臭目的。研究过程中，进一步发现当恶臭气体的相对分子质量越大时，紫外光解氧化效果就越明显。在特种能量等级的紫外线作用下，大多数化学物质都能得到分解。
降低气体中的湿度就可以降低气体的温度以及提高气体的温度，让气体的温度与温度之间的温差增大，从而可以在一定程度上避免有机废气治理设备被腐蚀。直接燃烧技术根据热量的回收方式，可分为直接焚烧法和蓄热焚烧法。除此之外，还要给有机废气治理设备做好外保温措施，不为结露锈蚀留下隐患。如果有机废气治理设备出现了腐蚀现象就会缩短使用寿命，而且对废弃的治理效果也会下降。所以，各个工业企业除了要使用合理的有机废气治理方案和设备之外，还要注意为有机废气治理设备做好各种防腐蚀措施，避免设备在使用过程中被腐蚀。
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工业废气处理指的是专门针对工业场所如工厂、车间产生的废气在对外排放前进行预处理，以达到***废气对外排放的标准的工作。然后引发一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使******物质转变成***无害或低毒低害物质，从而使污染物得以降解去除。一般工业废气处理包含了有机废气处理、粉尘废气处理、酸碱废气处理、异味废气处理和空气灭菌消毒净化等方面。工业废气处***体详细包含较多化学物质和各种有机废气、酸碱废气。
在有机废气处理时普遍采用的是有机废气活性炭吸附处理法、催化焚烧法、催化氧化法、酸碱中和法、等离子法等多种原理。一般引荐运用等离子法，因为低温等离子法具有去除效率会高运用方便的特色。
