




在CMP中,抛光皮具有以下功能:
(1)能贮存抛光液,并把它运送到工件的整个加工区域,使抛光均匀;
(2)从工件抛光表面除去抛光过程产生的残留物质(如抛光碎屑、抛光垫碎片等);
(3)传递材料去除所需的机械载荷;
(4)维持抛光过程所需的机械和化学环境。抛光皮性能主要由抛光皮的材料种类、材料性能、表面结构和状态等决定。
苹果手机屏幕就先采用硬度较高的抛光皮进行平坦化,然后在采用较软的抛光皮
抛光皮硬度较低(肖氏硬度40—50D)时,材料去除率在全部速度范围遵循Preston方程;而抛光皮硬度较高(肖氏硬度50—70D)时,水松皮厂商,在高于某个速度以上材料去除率才遵循Preston方程。
东莞市大岭山晨鑫玻璃抛光材料加工厂主要销售的光学材料有:稀土抛光粉、扫光粉、聚氨酯抛光皮、双面磨抛光白色磨皮、扫光治具、扫光地毯、扫光海绵、扫光磨皮切割成型、双面磨板等等常用耗材,
使用抛光垫前进行抛光垫润滑操作。对抛光垫在无压力状态下,抛光液均匀的涂沫在抛光垫的。使抛光垫在初使用过程中不至于无缝磨擦造成快速磨损。经过抛光液本身的载体润滑作用,水松皮工厂,大大的减轻了抛光垫的负担,进行增加了其使用寿命。
使用润滑性能良好的抛光液,水松皮,一般的抛光液直接就是纯净水按比例兑换后使用,这是非常不合理的。这样不但无法发挥抛光液本身的抛光性能,而且会加速抛光垫的磨损、软化抛光垫表面。这是非常不科学的操作方法。
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