真空热处理所需的氮气，有各种不同的来源。由于液氮的密度远比氮气大，体积远比氮气小，便于运输和贮藏，而且在大量供应时价格也较便宜。所以，液氮是真空热处理所用氮气的重要来源之一。液氮，液态的氮气。是惰性的，无色，无臭，无腐蚀性，不可燃，温度极低。氮构成了大气的大部分（体积比78.03%，重量比75.5%）。氮是不活泼的，不支持燃烧。汽化时大量吸热接触造成冻1伤。
液氮属于低温流体且以液体形式自由流动，因此在使用、运输和存储期间可能会造成飞溅或溅出。如果没有做好保护措施，意外的飞溅使得人的皮肤直接接触了液氮，就会因为立即冻1结而造成严重的灼伤和更严重的伤害。液氮也会因压力的累积而引起的爆1炸。如上所述，由液相的汽化产生的气体体积很大并且迅速发生。如果这种相变发生在无法承受所施加压力的容器中，则可能因过压而导致灾难性的后果。
在高压气淬时，需要快速向真空炉中充入高于一个大气压的氮气。在钢件真空回火时，在抽真空后需回充氮气以实现炉内保护气体循环均匀加热，以及实现回火后的快速冷却。如果加压，可以在更高的温度下得到液氮。氮是利用空气分离装置将空气中的氮气液化后的产物，它无色、无味，能实现低温深冷冻1结，
在真空加热油淬的真空淬火过程中，有时为了保证或提高淬火油的冷却能力，需在工件冷却之前，向真空炉中回充足够的氮气。
