菱威纳米-Parylene真空镀膜工厂-Parylene

派拉纶（Parylene）是六十年代中期美国Union Carbide Co.开发应用的一种新型敷形涂层材料，它可以涂层到各种形状的表面，在盐雾、霉菌、潮湿、腐蚀性等恶劣环境中有很好的隔离防护功能。派拉纶在保护中的应用，是当今***的保护技术之一，它能解决其它材料不能解决的保护问题。经派拉纶保护的，防水、防腐蚀性能优异，的寿命可延长千年以上。

　 在微电子领域，近些年Parylene应用发展较快，Parylene真空镀膜工厂，真空气相沉积制备的Parylene不仅可制精细尺寸的涂层，电路板Parylene工厂，而且该涂层可用微电子的加工工艺进行刻蚀加工图形。它除了作为微电子器件钝化材料、引线加固封装材料外，在微米以下超大规模集成电路制作中，还作为一种低介电常数材料用作集成电路的介电材料，特别是氟代Parylene，更被国外集成电路研究者所青睐，用作多层集成超大规模集成电路的层间绝缘介质。　　　　Parylene气相沉积涂敷工艺涂敷时，在工作上有很强的渗透性，能渗透到***T贴片工件的底部和工作表面疏松的毛细孔中，真正形成完全敷形，均匀一致的防护涂层。Parylene气相沉积涂敷工艺没有溶剂、助剂，即使在0.1微米厚也没有，气态小分子在工作表面直接聚合成固态的涂层薄膜，Parylene，没有通常涂层的固化过程和固化引起的收缩应力，对工件能进行表面加固，但不会引起伤害，也没有因表面张力而引起的涂层弯月面状不均匀。

自动化控制和恶劣环境下使用的传感器、换能器，用很薄的Parylene涂层防护可以提高环境适应性和可靠性。使用环境包括淡水、海水、炼油厂、化工厂、血液和体液以及辐射环境等。由于很薄的Parylene薄膜涂层就能对器件提供有效防护，对传感器的灵敏度影响很小。国外已有四千万种以上各种传感器用Parylene防护，可用于微波、射频、声学、压电、辐射、化学、温度等各种传感器。其中有汽车传感器、腐蚀环境用传感器、生物***用传感器等。经Parylene封装的CMOS器件浸入海水中300天以上仍能正常工作，采用Parylene封装防护甚至还可以开发能够在液氮中使用的微电子器件。