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检查滚珠轴承，如内外套磨损、旷动、滚珠磨损或表面有斑点都要更换。尚可使用的用或煤油将轴承清洗干净后涂黄油保存。
检查叶轮上是否有裂痕或小孔，叶轮固定螺母是否松动，如有损坏应修理或更换。检查叶轮减磨环处间隙，如超过规定值，应修理或更换。若水泵和管道都不拆卸时，应用盖板将出口封好，以防杂物进入。
磁场屏蔽出现的问题
旋转的转子在磁场中产生涡电流，将使转子发热，将产生如下问题：
①、转子与定子间隙越来越小，造成碎片；
②、转子温升过大造成磁性电机转子退磁；
③、由于发热会减弱铝材料的强度，造成碎泵；
④、转子发热，改变转子和轴的相对位置，造成碎泵。
分子泵在磁场中运转时，径向和轴向磁场强度均不得大于30Gs。原则上，大于30Gs应使用导磁材料屏蔽。
离子注入机器设备
离子注入是用有机化学或物理方法有选择从硅单晶表层除去不用原材料的全过程。卧式分子泵具有抽气时转子受力均匀，轴承***受力状态好，使用寿命长，轴承更换过程中转子位置不动，维修方便等特点。离子注入的基础总体目标是在点胶的硅单晶上恰当地拷贝掩膜图型。智能化的干法刻蚀机器设备包含繁杂的机械设备、电气设备和真空设备，另外装有自动化技术的离子注入终点站检验和操纵设备。离子注入运用工作状况繁杂，清理能力差，充进高纯气体类型多种多样，因而必须独特解决的干泵和磁悬浮分子泵。Agilent分子泵销售维修中心
离子注入机器设备：离子注入就是指在真空下，当电子束射向固态原材料时，遭受固态原材料的抵御而速率渐渐地降低出来，并后滞留在固态原材料中的状况。水泵机组和管路在使用一段时期后，应做好水泵***工作放尽水泵和管路内的剩水。离子注入是半导体材料表层周边地区开展夹杂的关键技术性，其目地是更改半导体材料的载流子浓度值和导电性种类。离子注入机是集成电路芯片生产制造工艺流程中的主要设备，必须高清理的真空，以确保正离子夹杂浓度值和使用量的性。Agilent分子泵销售维修中心
分子泵应用常见问题：
1、分子泵运行以前请确定分子泵安裝妥当，电缆恰当联接并确定处在卡紧情况。
2、分子泵在接电源后及一切正常运行时旋转工件是由磁场力支撑点飘浮的，请尽.量不必碰触泵壳及控制板，非常是电缆，肯定不可以碰触。
3、当终止分子泵，请先得出关机命令(STOP)，待分子泵降速完毕，ROTATION显示灯灭掉(液晶显示器上显示信息STOP,及转速比显示信息为0%)，确定分子泵早已彻底终止，才能够断电。分子泵的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同，利用了动量传递原理，使分子定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。如必须拆装线缆，在如上述情况一切正常关机并关闭开关电源后，才能够拆下来线缆，分子泵在一切正常运行时肯定不可以拔下电缆线电源插头。Agilent分子泵销售维修中心
当碰到出现意外关闭电源时，分子泵会产生警报(POWERFAILURE)，这时分子泵会自发电量以保持內部旋转工件维持飘浮情况，另外降速运作(BRAKE)，在降速到一定转速比时，自发电量终止，旋转工件坠落(TOUGHDOWN)，由维护滚动轴承支撑点再次转动降速直到彻底终止。3）复合分子泵它是由两个涡轮泵和牵引泵串联而成的复合分子真空泵。在分子泵旋转工件掉到维护滚动轴承时，分子泵会传出较为大的响声,这类状况是一切正常的。碰到出现意外关闭电源时,请想方设法尽快地***供电系统，如能在五分钟以内修复供电系统，则不容易产生TOUGHDOWN，转动感受修复飘浮情况，重启还可以开展。Agilent分子泵销售维修中心
