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结构特点
复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合，集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内 ((10-6 ～ 1Pa) 具有较大的抽速和较高的压缩比，大大提高了泵的出口压力。法国 Alcatle 公司生产的一种采用气体静承和动密封的复合分子泵，可以做到完全无油，且不用前级泵直接向大气中排气。分类
复合式分子泵的形式很多，按结构分，主要有两种：一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合；另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用来提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的叶片形状，级数在 l0 级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比，提高泵的出口压力。
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5、用橡皮垫圈密封的则取下橡皮垫圈，退出***销。
6、取出转子及旋片。通常在低转子端而设有两个攻了丝的孑匕用丝杆拧入此孑匕便很容易地拉出低转子了。但要注意拉出转子时一定要用手捏紧旋片，因旋片受弹簧力较大，一不小自容易脱手飞出，掉于地上或碰到硬物，碰坏旋片棱角及表面造成无端报废。
7、拆卸高真空端，拿出高转子和旋片。此时，只需用手捏紧旋片和轴即可取出转子。
8、动手拆泵以前，应事先了解清楚待拆修泵的结构特点、各零部件大致属哪种结构型式。例如，对那些本身属于组合件的部件，如某些旋片泵的转子等，则不要拆卸，可对其表面作适当的修正调整;如果组合转子内落入玻璃屑、金属***伤了腔体或本身旋片槽已磨损过多，需修换配件时，则可拆卸，但要小心记住其装配方法。
