无尘室的维护与管理
无尘车间是污染控制的基础，是一间具备了空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间。在无尘室极高的硅晶片制造链中，必须是一个无污染源的环境、超洁净的车间，硅晶片零件才能够正常批量生产。排风风管安装，应符合下列规定：输送含有可燃、介质的排风风管或安装在有***环境的风管应设有良好接地。 我国的无尘室发展起步与国外相比较晚，近二十年来，随着越来越多外企在国内开办或合资开办企业，一些高新技术对生产环境的要求提高，为了提升竞争力，各个行业也开始追求无尘室的质量。
无尘车间测试标准
为了证明无尘车间工作得令人满意,必须证明其满足了下述准则的要求：
1.无尘车间的送风量充足，足以稀释或消除室内产生的污染。
2.无尘车间内的空气是从洁净区向洁净程度差的区域流动，受污染空气的流动达到程度，空气在门口处和室内建筑中的流动方向正确。
3.无尘车间的送风不会显著增加室内的污染。
4.无尘车间室内空气的运动状态可保证密室内没有高浓度聚集区域。
如果洁净室达到了上述这些准则的要求，就可以测量其粒子浓度或微生物浓度（必要时），以确定其达到了规定的洁净室标准。
无尘室压差控制方法
无尘室压差控制的基本原理是控制送风量、回风量和排风量。当送入无尘室 内的空气量适当的大于回风和排风量时，室内则可维持一定的正压值。此时，在室内外静压差的作用下，通过围护结构不严密处向外渗漏的风量与机械进出风量的差额相等。
压差维持的难题在于机械送风量与出风量是动态变化的。对于洁净 空调系统来说，过滤器积尘会造成新风、送风管路阻力增加，从而影响风量，排风设备的时开时停也会导致排风量的变化；然而，喷射蒸汽、喷蒸汽和电极(电加热)加湿是将蒸汽喷射到空调的空气供应中，加湿方法是等温加湿过程。此外，与楼道、室外相邻还会因热压、风压的变化影响房间的压差。因此洁净室的压差值需要经常进行检查，并依次对新、送、回、排风通路的阀门作出相应的调整。
