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性能参数
通常扩散泵的性能是以极限真空、反压强、抽气速率以及设置冷阱或低温挡板而定。1.极限真空如果对一般油扩散泵的结构进行改进,如减少油蒸气的返流,加分镏装置,合理分配加热功率,改进喷嘴角度设计,加以挡油帽、障板或冷阱、吸附阱等,就能使扩散泵性能大大改善,极限真空可达到更低的压强。油扩散泵工作压力范围是10^-1~10^-6Pa,起始压力正好是机械泵的极限压力,因此,油扩散泵通常要利用机械泵作为前级泵,将真空度抽到10^-1Pa后才能开始工作。
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管道积水水环真空泵与蒸汽凝气器相连通。一方面,水环真空泵在运行过程当中,很容易因水汽分离设备存在工作漏洞,造成管道内产生水汽积流;另一方面,待水环真空泵停止运转时,由于水汽凝结,也会形成积水。随着积水次数增多,会造成水倒流回真空泵内,短时间内形成较大电压,容易烧毁电机。
为了避免出现这种危害,应该定时对水环真空泵的使用情况进行检查,***检查进出气管道中是否存在积水,如果发现,要及时清理。
为了防患于未然,还要改造水环真空泵的水气分离器,可以采用具有更高耐磨性和耐腐蚀性的钢材,或者加粗水气分离器管筒的直径,使水气分离能够在足够的空间内进行,从而使水蒸气积流大大减少,避免积水故障。