原理：低压吸附真空解吸，在低压条件下将空气中的氮气氧气吸入，吸附饱和后分子筛在真空的条件下解吸，制药厂污水处理，将氮气从排放口排放，氧气进入提纯系统，分子筛不断的吸附解压从而循环制得纯度较高的氧气（90～95%）。与PSA相VPSA能耗较低，制氧设备越大其能耗越低。
技术指标
◆产品规模：100-10000Nm3/h
◆氧气纯度：≥90-94%，可根据用户要求在30-95%范围内调整。
◆制氧电耗：氧纯度在90%时，折合为纯氧的电耗为0.32-0.37KWh/ Nm3
◆氧气压力：≤20kpa（可增压）
◆年开功率：≥95%
特点：
◆装置工艺流程简单
◆制氧规模10000m3/h以下，养殖污水处理，制氧电耗更低，***更小；
◆土建工程量小，装置安装周期比深冷装置短；
◆装置运行和维护费用低；
◆装置运行自动化程度高，开停车方便快捷，操作人员少；
◆装置运行稳定性强，上海污水处理，安全性高；
◆操作简单；
◆采用原装进口制氧分子筛，性能优越使用寿命长；
◆ 操作弹性强（负荷行优越，转换速度快）
电解法制出的臭氧具有浓度高、成分纯净、在水中溶解度高的优势，***污水处理，、食品加工与养殖业及家庭方面具有广泛的开发价值。但与电晕放电法相比，电解法制臭氧量小，能耗大；而电晕放电法虽产量高、规模大，但气体需干燥，产出的臭氧浓度很低，电极易损坏，也存在诸多不足。因此开发电解法与电晕放电法的优势应用领域是当前需要解决的技术问题。
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