无尘室照明布线应注意的问题
无尘室装修照明布线应同各类电气线路、各***管道一样，遵循一个“隐蔽”的原则。洁净室气流流型不同，它的建筑结构也不相同，非单向流洁净室，一般只有上技术夹层或吊顶；一、了解空气空气净化：去除空气中的污染物质，使空气洁净的行为。垂直单向流洁净室，设有上下技术夹层，上技术夹层是送风静压箱，循环风处理装置、高1效过滤器，部分电力、照明、通信管线也在此敷设；下技术夹层是回风静压箱（回风道），一般敷设水管、气体管道、电气管线、电缆桥架、封闭式母线等；与洁净室相毗邻设有技术夹道或技术竖井，敷设竖向管道或放置那些不宜放在无尘室内的辅助生产设备。
照明配电箱由于灯具的所在位置常常设在顶棚以上的技术夹层或技术夹道内，这样容易接近负荷中心，水平布线短，抻于隐蔽。
只设有吊顶的洁净室，吊顶内管线复杂，注意电气管线敷设时要注意尽量远离可燃性气体管道或采取相关措施；必须在洁净室内安装的照明配电箱、开关等应尽量暗装，电线、电缆管线穿过吊顶处必须进行密封处理，防止吊顶内灰尘和细1菌等进入洁净室。
目前已推出的化学过滤器主要是：
a.活性炭过滤器，大多数是晶粒状的，有盘片式、蜂窝式等；亦已有活性炭纤维过滤器，具有吸附速度快的特点，价格尚较高；还已有晶粒与纤维粘合的过滤器。
b无纺合成织物上浸渍各种功能晶粒（如活性炭、活性铝，但主要是活性炭）以吸附AMC物质。
至今，据报道，φ300mm园片加工除二条试验生产线外，已有四条生产线（德国一条、美国一条、我国台湾二条）开始运转，对AMC的控制情况，当然不详，但洁净室环境为ISO5～6级，对洁净室设计较简单些。C——沸点高于室温能在光洁表面冷凝的物质，主要是碳氢化合物，某些工艺加工环境中的水蒸汽亦需要考虑。可以看到，今后IC生产，其生产环境的污染控制***必然转到工艺设备及园片传、存放系统的研发及制造上.
