清洗真空泵维修
装配时，应先在转动部位的表面上涂少量真空泵油、进行润滑。注意清洁，严禁铁屑、泥砂及尘埃等落入真空泵内，***销要接触良好。装好的真空泵应转动轻松，无轻重不均及阻滞现象，
装完后，从加油孔加入真空泵油至油标线为止，
开机前，应向抽气口注入少量真空泵油，使真空泵内充分得到润滑。（重新装配的真空泵应进行几个小时的运转试验，以观察是否达到使用要求。）
清洗真空泵：
1、用扳手打开真空泵侧盖，置于适当位置；
2、用纸巾彻底清理真空泵腔内及侧盖的油污；
3、70泵下腔滤油网要用进行清洗干净；
4、清扫完毕后，先安装好滤网，后安装好侧盖；
工作完毕，切断电炉电源，等炉温降到一定温度后，关闭扩散泵加热电源。在抽预真空状态下，等油增压泵降油温，然后关真空阀，关机械真空泵，后关冷却水和总电源。工作结束后，应及时填写设备使用记录及相关文件，整理及打扫工作现场，消灭事故隐患。
真空设备操作应注意，扩散泵加热时，主抽泵及前级阀需打开抽真空。主阀必须在前级阀打开后才能打开。主阀未关上时，炉体放气阀不能打开。
真空设备的改造。为防比大量冷空气进行扩散泵和增压泵，可在抽高真空管道系统加装一台维持泵，实现真空阀与放气阀之问互锁，从而确保设备安全运行。由于管路没有加维持泵，在抽高真空时，气动挡板阀由于损坏或误操作而漏气，使冷空气进入，冷空气遇高温油蒸气，使气体迅速膨胀发生。
普旭真空泵维修时若是发现泵油污染，需要换油；泵内滤油器堵塞，导致油路不畅，压缩喷油系统供油不足，导致泵体密封不严。此时，需要清洁内部机油滤清器。普旭真空泵维修时发现达不到极限真空度，可能是由于分油器阀门变形、磨损或损坏，也可能导致供油不足。在这种情况下，应检查并更换机油分配器的阀门。
真空泵的长期使用将导致旋转盘的磨损或转子中的弹簧张力不足，这将导致吸入室和排出室之间的隔离不严，从而导致真空泵的真空泵吸性能下降。因此在普旭真空泵维修时应更换转盘和弹簧，并清洁转子和泵室。检查排气阀，看其动作是否失败，导致排气不良。如有必要，更换排气阀。
