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北京晓韬科技有限公司

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企业地址:北京市通州区东亚尚品台湖9号楼1330-1331
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晓韬科技有限公司为行业内很具影响力的创新型企业之一,拥有多项技术,致力于为广大科研院所,高校,企业中奋斗在科研一线的科学家们提供很可靠具性价比的科研设备。解决方案涵盖:气、液流量控制设备,温湿度控制设备,真空、催化、材料等研究设备及各种实验设备辅材。主要产品有:智能气路控制系统;流量显示仪表;FSC......

气体质量流量控制器公司免费咨询 北京晓韬科技

产品编号:1922495779                    更新时间:2020-09-28
价格: 来电议定
北京晓韬科技有限公司

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  • 主营业务:动态稀释配气仪,膜透仪,智能气路系统,非标系统定制
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质量流量控制器的常见问题

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实际使用中发现,当输入的气体不同时控制显示的数值与实际不符,其实原因很简单,因为在MFC行业中,有一种参数叫CF,即气体转换系数(下面简称CF)。而MFC行业中又把N2(氮气)定义为标准气体M。N2的C值为1.00,其他的气体以氮气为中心,分布在0.1到1.4左右。CF大于1.00的代表气体是单原子气体He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的气体有02(氧气)、H2(氢气)、F2(氟)等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是几种气体的混合在一起的话,简单的分析其比率,用各自的CF值计算即可。

假设某台MFC是用N2标定的,但是实际流过的气体是He,实际的流量比N2多。各个厂家的He的CF值稍有不同,但大约都在1.4,所以简单的说就是He气相同示数时,是N2的1.4倍流量。反过来,如果N2流过He的MFC,实际的流量大约是1÷1.4=约0.71,少30%的流量。

因此控制器发现流量不准时,考虑出厂标定CF是否与你的气源相同



质量流量计故障处理方法

硬件故障若出现误差偏大,积算器显示不亮或不增值,显示器空白位等现象,其原因:

a.安装不规范,可直接导致流量计零漂,如质量流量计安装在泵出口处较近,传感器支撑强度不够,连接法兰焊接不当产生应力信号,电缆受电磁干扰。

b.接线问题若出现显示器不亮现象,应检查积算器电源连线,若出现***丝被烧,应确认输入电压与标准电压标称值,交直流形式是否一致。又若出现积算器不随流量增加时,应检查积算器接线,若积算器装有正/反向程序,应检查流量计接线,因流量计接线不正确,会使积算器在反向流时不递增。

c.工艺介质变化若测量介质出现夹气,气化或两相流等现象,变送器会出现报警显示,严重时,传感器停止工作。

d.变送器失效。

e.传感器失效。

f.管道吹扫问题。

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