浙江游星电子科技有限公司（原开化县模具厂）创建于1991年，是一家集研发，生产、服务为一体的高新技术企业，***生产
【游星轮】【研磨盘】【修正轮】【中心轮】等精密研磨抛光设备附件。
游星轮厂家与您分享
游星轮是应用在玻璃，镜片，硅片，硬盘等各种平面抛光工序的夹具，又被称为抛光治具，抛光垫等
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传统的抛光机会选择与中心齿轮和外周齿轮间距相匹配的游星轮，使游星轮在中心齿轮和外周齿轮之间转动，并且游星轮在抛光机上转动的同时发生自转，从而保证光学器件的均匀打磨，但在使用9B型双面抛光机加工大面积的工件时(加工方法请见本申请人之前提交的“大基片游星轮”申请)，由于必须将游星轮的中心作为转动中心，因此仅能实现游星轮的自转，无法使光学器件得到均匀打磨。因此，如何快速***高品质地加工游星轮的齿成为该技术领域亟待解决的问题。
在研磨晶圆背面的过程中，会先在晶圆的功能面上覆盖一层保护胶带(BG tape)，以避免在研磨晶圆背面过程中产生的杂质造成晶圆功能面污染，以及避免晶圆功能直接与研磨设备(如用于固定晶圆的吸盘)直接接触而造成晶圆功能面受损，进而降低形成的芯片质量。熔融的单质硅在凝固时硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核，如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒，则这些晶粒平行结合起来便结晶成单晶硅。
游星轮厂家与您分享浅谈关于游星轮的研磨抛光
蓝钢游星轮，又被称为蓝钢游星片，顾名思义，使用的材料主要为蓝钢，蓝钢游星轮完全可以替代环氧板游星轮，在使用寿命方面，蓝钢游星轮是环氧板游星轮五倍甚至更高，且蓝钢游星轮的耐磨度和平整度更佳，从而使抛光精度得到了保障，大幅降低了破膜爆盘发生的几率。为此，在半导体器件制造过程中，在晶圆的功能面上形成众多半导体器件之后，进行晶圆背面研磨工艺(BackGrinding，简称BG)，采用平坦化工艺研磨晶圆与功能面对应的背面去除部分厚度的晶圆，以减小后续形成的芯片厚度。
