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潽拓光电科技---真空泵的工作压力
1.工艺要求达到的真空度:
真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求,选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如:真空工艺要求100pa(压力)的真空度,选用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。
潽拓光电科技---真空泵的工艺要求的抽气量:
真空泵要求抽气速率(也就是要求真空泵在其工作压力下,排出气体、液体,固体的能力),一般单位:m3/h,L/S,m3/min。也可以提供被抽容器或者反应釜的体积由我们工程师帮你计算选择抽气速率。
潽拓光电科技---真空泵的性能
每台真空泵都有主要的性能指标,如极限真空、抽气速率、抽气量、反压力、起动压力。
1)极限真空是指真空系统或真空泵在给定条件下经充分抽气后所达到的稳定的压力。
2)抽气速率是指对于给定气体,在一定温度压力下,单位时间内从真空泵吸气口平面处抽除的气体容积,单位为Ljs
潽拓光电科技---真空泵型号
Leybold莱宝真空泵、D60C、D40C、D30C、D16C、莱宝真空泵油N62、N62H、LVO100、LVO108批发销售。
广州潽拓光电——Pfeiffer TMH262 涡轮分子泵是德国Pfeiffer Vacuum公司设计制造的一款分子泵,Pfeiffer T TMH262的转速为60000rpm, 其对应的频率为1000Hz,标准的Pfeiffer TMU261分子涡轮泵对应的极限真空为5.0*10-10mbar。检漏各种需要无油干燥的真空环境和需抽取不能被污染的气体的用途隔膜泵(MVP)技术参数。
都是基于德国DIN 28 428的测试标准,使用不锈钢CF接口,烘烤后48小时测得的。
Pfeiffer TMH262 涡轮分子泵对应的分子泵控制器为Pfeiffer TC600或Pfeiffer TC750(对应电压为48V DC)
,或者更高的配Pfeiffer TCP350。
广州潽拓光电——PFEIFFER普法 分子泵应用 Hipace 80分析仪器:电子显微镜、检漏、小型质谱、表面分析、残余气体分析半导体:PVD、inspection、bonding、MBE、load-locks工业:***技术、工业检漏、隔离真空、灯管制造研发:核研究、等离子研究、冷冻研究、纳米技术、生物技术上海伯东客户分子泵应用一:Hipace 80,Hipace 400 用于分子束外延 MBE,主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长。瓦里安VarianTurbo-V300HT涡轮分子泵采用免维护的陶瓷轴承,无油,无污染,平均无故障时间大大增加。
PFEIFFER 普发 Hipace 80 对所有气体的高抽速和极高压缩比使其广泛应用于真空行业。集成驱动电路,适用于工业环境,通过保护等级 IP54、半导体 S2、UL / CSA 认证。通过控制器监控运算数据保证分子泵的安全性。LEYBOLD莱宝真空泵、真空泵维修及维修包耗材SV16/25D2。涡轮分子泵 Hipace 80 可以任意位置安装。自然风冷,多种配件可选满足广泛应用
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广州潽拓光电—— VARIAN 安捷伦 在原子力显微镜中,瓦里安也有独特的优势,配合其缓冲器,分子泵顶部震动可以小于磁悬浮分子泵,能提供更清晰更稳定的图像。Varian 分子泵采用 Varian Macro Torr技术,Macro Toree是目前有效的涡轮级设计技术。2、结构简单,制造要求不高,不需要吸气、排气阀,工作平稳,气量均匀。