由于对零件形位公差的测量方式可以灵活多变，零件形状不同测量方式就有一定的差异，但是无论什么形状的零件都需要确定一个测量基准，在统一的基准上对零件进行测量。对于平面度、位置度、垂直度、平行度及其他形位公差测量，能够使用三坐标测量的，优先使用三坐标进行测量。
零件表面粗糙度测量
零件表面粗糙度测量时，采用粗糙度测量仪进行测量。
零件硬度测量
对金属件表面硬度的测量，应使用洛氏硬度计进行测量；橡胶件硬度采用邵氏硬度计进行测量。
内径测量器。该内径测量器包括具有与主体 (10) 螺纹配合的外螺纹 (14) 且沿轴向进退的测杆 (15)、设置于主体 (10) 上且沿与测杆 (15) 的轴向大致正交的方向进退的多个测量触头 (22)、和设置在这些测量触头 (22) 与测杆 (15) 之间且随着测杆 (15) 的轴向的进退使测量触头 (22) 沿与测杆 (15) 的轴向大致正交的方向进退的圆锥构件(23)，测杆(15)的外螺纹(14)的导程形成为 1.0mm 以上，而且圆锥构件 (23) 的圆锥角形成为小于53度。优选外螺纹(14)的导程为 2.0mm，圆锥构件 (23) 的圆锥角为大致 28 度。
作为测量被测量物的内径的装置，有被称作孔径测量器的内径测量器。该内径测量器包括主体、具有与该主体螺纹配合的螺纹部且沿轴向进退的测杆、设置于主体且沿与测杆的轴向大致正交的方向进退的多个测量触头、和设置在这些测量触头与测杆之间且随着测杆的轴向的进退使测量触头沿与测杆的轴向大致正交的方向进退的圆锥构件。在该内径测量器中，设置于测杆的螺纹部的导程为 0.5mm，而且为了使测量触头的移动量与测杆的进退量相等，圆锥构件的圆锥角 α 通常为大致 53 度。即，( 一个测量触头的移动量 ) ＝ ( 测杆的进退量 )×tan(α×1/2)，由于 tan(53×1/2) ≈ 0.5，因此，通过使圆锥角 α 为大致 53 度，测量触头的移动量 ( 多个测量触头中的两个测量触头的移动量的合计 ) 与测杆的进退量相等。在这样的内径测量器中，由于测杆的螺纹部的导程为 0.5mm，因此，测量者在测量很多的大小各异的被测量物时，为了使测量触头进退而需要使测杆的螺纹部旋转许多圈，存在操作性及作业效率较差这样的问题。
内径千分尺是根据螺旋付传动原理进行读数的通用内尺寸测量工具。主要由微分头、测量触头和各种接长杆组成。成套的内径千分尺配有调整量具，用于校对微分头零位。
微分头结构：主要有测头、锁紧螺钉、固定套管、微分筒、测微螺杆等组成，示值范围一般有：13mm, 25mm，50mm，测量下限50mm，75mm，100mm，150mm等，分度值为0.01毫米。
接长杆结构：测量头、芯杆等。
测量触头：调整量具（卡板）
内径千分尺用途
适用于机械加工中测量IT10或低于IT10级工件的孔径、槽宽及两端面距离等内尺寸。
内径千分尺正确使用及注意事项
1．使用之前要首先观察千分尺有无合格证并是否在合格有效期之内。观察外观有无影响测量的缺陷，擦净测量触头、卡板（调整量具）、测头。转动微分筒检查其是否转动灵活及接长杆中的芯杆活动情况，锁紧装置是否止动可靠。
2．用校对卡板校对微分头零位，且用力均匀，如果有影响到测量精度的误差，不要自行调整，及时送计量室检测。
3．接长杆正确拼接方法：需要联结接长杆时，尽可能选用少量的接长杆来组成所需要的尺寸，减少累计误差。同时使尺寸接杆与微分头联结。依次顺接到测量触头，以减少连接后的轴线弯曲。联接完后反复检查连接杆是否完全拧紧。
4．接下来测量工件孔径时，要先使内径尺和工件严格等温，防止以上过程手的热量直接传到内径千分尺上。
用内径千分尺测量测量孔径方法：将其测量触头测量面支承在被测表面上，调整微分筒，使微分筒一侧的测量面在孔的径向截面摆动，找出尺寸。然后，在孔的轴向截面内摆动，找出尺寸。此调整需反复几次进行，后旋紧螺钉，取出内径千分尺并读数。测量两平行平面之间的距离时，应沿多方向摆动千分尺，取其尺寸为测量结果。
