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真空热处理加工是和可控气氛并驾齐驱的应用面很广的无氧化热处理技术，也是当前热处理生产技术***程度的主要标志之一。真空热处理不仅可以实现钢件的无氧化、无脱碳，而且还可以实现生产的无污染和工件的少畸变，因而，它还属于清洁和精密生产技术范畴。目前，它已成为工模具生产中不可替代的***技术。据国内外经验，工件真空热处理的畸变量仅为盐浴加热淬火的三分之一。研究各种材料、不同复杂程度零件的真空加热方式和各种冷却条件下的畸变规律。

现代真空热处理炉，是指可施行元件的真空加热，然后在油中淬火或在常压和加压气体中淬火的冷壁式炉子。研究开发这种类型的设备是一项综合性强、跨学科、牵涉到很多科技领域的工作。

工模具材料真空热处理的应用前景很大。大多数工模具钢目前都采取在真空中加热，然后在气体中冷却淬火的方式。为了使工件表面和内部都获得满意的力学性能，必须采用真空高压气淬技术。目前，国际上真空气淬的气压已从0.2MPa、0.6MPa提高到1-2MPa甚至3MPa，所以，高压气淬真空炉的冷却气体压力的逐步提高是一个重要的发展趋势。

实际热处理生产中除分级等温淬火工艺外连续冷却的情况为多。淬火需要得到马氏体***速度必须大于临界冷却速度，零件表面冷却速度一般大于心部冷却速度。淬火油的选择原则之一：淬火既想得到马氏体，冷却速度必须大于临界冷却速度，又要考虑减少变形，防止裂纹，冷却速度必须适中，不可过大。根据钢冷却转变规律，希望在临界区域温度时冷却速度大，尽快通过C曲线的鼻子区域，以免转变成珠光体或贝氏体***，在马氏体转变开始的***区域，冷却速度必须慢下来以减少***转变产生***应力引起的变形甚至裂纹。