低温等离子体技术及其在VOCs处理中的应用
人口、资源、环境是构***类生态系统的基本要素。近百年来，***经济的迅速发展和人口的剧增给环境带来越来越大的压力，各种污染问题层出不穷，由于污染物可以在生物圈中停留相当长的时间，并且发生扩散和漂移，因此采取有效措施治理环境问题迫在眉睫。
近年，***也已经涌现出许多治理环境问题的高新技术，如超声波、光催化氧化、等离子体、微波等，其中等离子体作为一种低能耗、操作简单的环保新技术用以处理***及难降解物质，是近来研究的热点。低温等离子体已经被用于超细颗粒生产、废气处理、冶金提炼、刻蚀和材料表面处理等，它们当中许多已实现了工业化。但是利用低温等离子体处理挥发性有机废气并实现工业化的却极为鲜见。本文论述了低温等离子体处理VOCs技术，及该技术在国内外商业化应用的现状，青岛废气处理设备，分析存在的问题，并指出该技术今后的研究发展方向，以期引起国内同行的共鸣。
废气处理设备产品优势
适合范围广：净化效用高，越发适合于其他步骤难以办理的多组分废气，如化工，等行业，电子能量高，几近不妨和全部的废气分行用处；运转费用低；反响快，设置启动，废气处理设备采购，停止相当快捷，随用随开。
***：捕集差别粒径的油雾粒子，净化效用高，从根本上处置了繁复的废气构成不行逐个净化的困难，净化单位不妨***组合，左证差别的净化办理量及净化率条件，单位数目可作调解。
便利：净化单位采取分体抽屉式结构，易于装配，废气处理设备采购，庇护，洗涤格外便利，电源控制体系可自动调动电场强度，使净化设置在长久运转后仍保留较高的净化率。
平安安定：平安体系设计慎密，检验门被敞开，高压电源就可以自动割断；高压电源细心设计成环氧树脂紧密闭塞的单位体，利用平安靠得住；采取了大型机所应用的闪络钉梢技巧，可配置长途控制体系，大大提高运转运转的平安系数，电源控制体系具备过流过压自动保障装置，设置安定运转。
节能：利用寿命长，节能比传统技巧节能50%以上。
占地面积小：智能，能自动判别就业运转形态，并显现相对的就业指示灯。
电子工业废气排放风量大，浓度低。以半导体制造为例，其工艺过程中有机废气排放流量大于10000m3/h，浓度低于25ppmv，电子工业废气VOCs排放中还含有酸性气体、碱性气体和一些有***体。
针对电子行业VOCS排放特点，结合电子工业废气VOCS治理新技术，废气处理设备采购，对电子终端产品企业，多采用活性炭吸附，整机机壳表面喷涂再增加除漆雾装置；特别是半导体企业，有机废气处理一般还含有酸性气体、碱性气体和一些有***体，治理技术多采用组合方式，前端通过喷淋塔淋洗，再经VOCS废气处理催化燃烧装置【沸石转轮吸附浓缩 催化燃烧】，VOCS去除率可达到98%。
