冷却也是热处理工艺过程中不可缺少的步骤，冷却方法因工艺不同而不同，真空热处理加工厂，主要是控制冷却速度。一般退火的冷却速度比较慢，正火的冷却速度较快，淬火的冷却速度更快。但还因钢种不同而有不同的要求，例如空硬钢就可以用正火一样的冷却速度进行淬硬。
金属热处理工艺大体可分为整体热处理、表面热处理和化学热处理三大类。根据加热介质、加热温度和冷却方法的不同，每一大类又可区分为若干不同的热处理工艺。同一种金属采用不同的热处理工艺，可获得不同的***，真空热处理报价，从而具有不同的性能。钢铁是工业上应用较广的金属，寮步真空热处理，而且钢铁显微***也比较复杂，因此钢铁热处理工艺种类繁多。
从曲线中可见，在抽气过程中，开始真空炉的压力降低很快，之后达到稳定，关闭真空阀门之后，炉内的压力值变化可以用曲线表示。
真空双室油淬炉中使用的热电偶由于长期正负压的交替作用，其外壳金属管会释放氧化粉尘，被热电偶内的磁管微孔吸收，白色的磁管变成***或黑色，造成真空炉中热电偶瓷管会产生导电现象，在做热电偶的维修时，应该经常检查磁管的色泽和使用万用表检测磁管导电性，发生这种现象应该更换热处理磁管。
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