净化车间每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准。目前净化车间应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。5μm及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。
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净化车间无尘室等级分类：
世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。
209E与209D等之不同在于209E表示单位增加了公制单位，洁净室等级以‵M′字头表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中gt;=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….表示。 洁净网z:Wg1pj
充分通风是为了稀释和消除室内污染空气。 根据不同的清洁要求，当净化车间高度较高时，适当增加通风量。 其中，净化车间的通风量是根据高或中效净化系统来考虑的，其余的要根据净化系统集中布置在机房或系统末端，可适当增加通风频率10-20％。
在净化车间中保持一定的正压力是确保洁净室不被污染或减少污染并保持设计洁净度的必要条件之一。 即使是负压洁净室，它也必须具有不低于其洁净度水平的相邻房间或套间，以维持一定的正压，并且可以保持负压洁净室的洁净度。