随着电子技术的发展，越来越需要许多几何形状复杂、精密度要求高而机械加工难以实现的超薄形工件。
而照相腐蚀（或称金属蚀刻）方法却易达到部件平整、刺、图形复杂的要求，且加工周期短、成本低。
它的化学原理是利用三氯化铁水溶液作为腐蚀剂与金属反应：
2FeCl3＋ F e＝ 2FeCl2
2FeCl3＋ C u＝ CuCl2＋ 2FeCl2
在氯离子和氧化剂共存的条件下就可以发生金属腐蚀。 FeCl3作为一种较强的氧化剂，其腐蚀作用取决于 Fe3 ＋Fe → Fe2 反应的氧化还原电位（ 0.77V ），加之溶液中含有大量的氯离子，且 PH 值低、酸性强，所以对金属有强烈的腐蚀倾向。 由腐蚀反映原理可知，三氯化铁随着反应进行，
Fe3 离子浓度越来越低，而 Fe2 离子浓度越来越高。
三氯化铁溶液中的 Fe2 离子浓度超过一定量时，腐蚀剂对金属腐蚀速度就显著下降，腐蚀质量变差， 此时就需要更新。
若经常更换腐蚀溶液，一则对环境产生污染，二则造成浪费， 高产品成本，如果能把 Fe2 氧化再生就可能解决这些问题。
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三氯化铁 泄漏处理
隔离泄漏污染区，周围设警告标志，建议应急处理人员戴好防毒面具，穿化学防护服。不要直接接触泄漏物，避免扬尘，收集运至废物处理场所处置。使其溶于a.水、b.酸、或c.氧化成水溶液状态，再加硫化物发生沉淀反应，然后废弃。也可以用大量水冲洗，经稀释的洗水放入废水系统。如大量泄漏，收集回收或无害处理后废弃。
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