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真空箱式氦检漏设备 充气柜氦检漏设备 环网柜检漏设备

以下内容由科创真空为您提供服务，希望对同行业的朋友有所帮助。

系统严格按照客户的要求设计制造，采用模块化的设计，充分考虑客户的检漏要求，同时也尽可能采用标准化的模块和部件，保证了系统的可靠性和可维护性。真空箱式氦检漏设备适用对空腔电力工件进行氦质谱检漏SF6充注，首先对工件充注一定压强的干燥压缩空气或氮气，保压判大漏。大漏合格后，对工件和真空箱抽真空，被检工件充注氦气，充气柜氦检漏设备，应用真空箱法进行氦质谱气密性检测；然后将被检工件内的氦气回收循环使用、充注SF6。全电脑控制，全自动检测，排除操作者人为因素导致的误判。自动判断，充气柜氦检漏设备***，声光提示。

本设备严格按照“用户技术要求”设计制造。

本设备适用对空腔电力工件进行氦质谱检漏、SF6及氮气充注，首先对工件进行真空内外压强抽空，真空法判大漏。大漏合格后，对工件和真空箱抽真空，被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性微检漏检测；然后将被检工件内的氦气回收循环使用、充注SF6及氮气工作气体。通过本装置判断出被检工件中的合格与不合格产品。

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主要技术参数及要求：

1、 真空箱尺寸：长00mm×宽00mm×高00 mm

充氦气压力：0.05Mpa（可调）

2、 工作节拍：＜40分钟/件

3、 箱内接口数量：大件1个工件接口。小件2个工作接口。

4、 氦气回收率：95%-98%

5、 可检漏率：≤2.8×10-6Pa m3/S

(报警漏率设置1×10-7Pam3/S时，应可检出)

6、 保压检测时间：（1-600S可调）

7、 工件真空≤1000Pa

8、真空箱检漏真空≤20 Pa

9、系统自身漏率：≤10-9 Pa m3/s

10、箱门开关方式：自动

真空箱体加送料车。料车尺寸高度需甲方确认。

真空箱氦检漏的特征和优点

1、高压氮气强度检测真空箱内进行，保护操作者安全

2、真空箱内氦气本底抑零，保证了检漏的准确性、。

3、检漏仪的自动校准功能以及自动校准程序，可随时校准检漏仪的灵敏度、准确度。

4、特殊设计的检测程序判断出具体的有漏工件，并通过灯光和液晶操作屏显示出来。

5、专利技术的密封接头，减少误判。

6、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能，确保了系统的操作安全及可靠运行。

7、PLC控制，使系统运行清晰明了，实现了实时监测及控制。

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用氦气作为氦质谱检漏气体的原因

选择示漏气体(示踪气体）的原则是：它在空气中及真空系统中的含量低；检漏仪对示漏气体的灵敏度高；它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全隐患；价格低。

质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体，主要原因如下：

1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少（在空气中约含5.2ppm），在材料出气中也很少，因此本底压力小，充气柜氦检漏设备价格，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。

2、氦的质量小（相对分子质量为4），易于穿过漏孔。这样，氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。

3、氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件，使用安全。

4、在氦两侧的是氢（质荷比为2）和双电荷原子碳（质荷比为6），充气柜氦检漏设备定做，质荷比都与氦相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开，定标找氦峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低了对分析器制造精度的要求，易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。

5、氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。

6.氢气有些性能（如质量小、易通过漏孔）比氦还好，然而由于氢一方面有易1爆***，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大，以致灵敏度大大降低，所以很少采用。

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