氦质谱检漏仪原理
它是基于磁场偏转质谱分析原理而工作的。在高真空的质谱分析室内,待分析气体的中性分子进入离子室(或离子源) ,受到加热钨丝发射出来的电子束的轰击,分子的相当一部分转为离子,然后电离的离子束通过电场被加速。分析管在磁场内,根据离子的质量(或准确的说是质荷比m/e) ,该磁场使离子路径按不同的半径弯曲。离子束中不同质量的离子被分成几束,每束只含相同的m/e的离子。氦离子(m/e=4)从较轻的离子(较小半径的H2 和H1 )和较重的离子(较大半径的N2 和O2 )中分离出来。由于有恒定的磁场(磁铁),调节加速磁场使氦离子沿特定的路径(通过膜片)撞击置于直流放大器输入端的靶子上(或称收集极)。装置里的氦离子束与氦分压成正比,根据被接收到的离子流强度,便可得到泄漏的流量值。
氦质谱检漏仪的进展
（1）便携式：***近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。
（3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。氦质谱检漏仪由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
（4）全无油的干式检漏：有些***生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。
（5）检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。
氦质谱检漏仪因具备检测灵敏度高、反应速度快、***定量准确等优点而被广泛应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。检漏仪在使用过程中，往往会因为产生的一些故障或是现象，而影响检漏工作的正常进度，若对其置之不理还会危及检漏仪的使用寿命。其中的有些故障或现象是使用者能够及时解决或避免的，掌握和了解氦质谱检漏仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利开展以及设备的***。
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氦质谱检漏仪故障与处理
处理方法
不同的密封部位出现泄漏采用不同的处理方法(见表1)。①检漏接口与阀门组块的连接部位有漏，可先采用灌胶密封处理，若密封性仍不能满足要求，需从厂家购买新品进行更换。②电磁阀与阀门组块间的密封圈有漏，则对密封圈进行更换，并先用无水乙醇将密封面、密封圈清洗干净，且勿在密封圈表面涂抹凡士林或真空脂(这些材料在真空条件下放气，会影响仪器本底)等密封添加剂。③各零部件间的密封一般也采用橡胶圈密封，若有漏，更换密封圈即可。注意事项同上。④真空计的探针与其外壳间采用密封胶密封，该密封环节在检测时极易被忽视，此处若有漏可***行灌胶处理，但探针间距很小，可操作空间有限，若灌胶后密封效果不佳，则从厂家购买新品进行更换。
