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感应耦合等离子体刻蚀机的结构一
预真空室预真空室的作用是确保刻蚀腔内维持在设定的真空度,感应耦合等离子体刻蚀机安装,不受外界环境(如:粉尘、水汽)的影响,青海感应耦合等离子体刻蚀机,将***性气体与洁净厂房隔离开来。它由盖板、机械手、传动机构、隔离门等组成。
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等离子刻蚀工艺
高密度等离子体源在刻蚀工艺上具有许多优势,例如,可以更准确地控制工作尺寸,刻蚀速率更高,更好的材料选择性。高密度等离子体源可以在低压下工作,从而减弱鞘层振荡现象。使用高密度等离子体源刻蚀晶片时,感应耦合等离子体刻蚀机品牌,为了使能量和离子通量彼此***,需要采用***射频源对晶圆施加偏压。因为典型的离子能量在几个电子伏特量级,在离子进入负鞘层后,其能量经加速将达到上百电子伏特,并具有高度指向性,从而赋予离子刻蚀的各向异性。
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感应耦合等离子体刻蚀机的结构三
创世威纳***生产、销售感应耦合等离子体刻蚀,我们为您分析该产品的以下信息。
供气系统供气系统是向刻蚀腔体输送各种刻蚀气体,通过压力控制器(PC)和质量流量控制器(MFC)精准的控制气体的流速和流量。气体供应系统由气源瓶、气体输送管道、控制系统、混合单元等组成。
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