SF6气体已有百年历史，它是法国两位化学家Moissan和Lebeau于1900年合成的人造惰性气体，1940年前后，美国军方将其用于曼哈顿计划（核军事）。
SF6是强电负性气体，它的分子极易吸附自由电子而形成质量大的负离子，削弱气体中碰撞电离过程，因此其电气绝缘强度很高，在均匀电场中约为空气绝缘强度的2.5倍。SF6气体在t≈2000K时出现热分解高峰，因此在交流电弧电流过零时，SF6对弧道的冷却作用比空气强得多，其灭弧能力约为空气的100倍。另还可能有***、HF等剧i毒物质，不但会腐蚀设备，一旦发生泄漏就会直接危害工作人员的生命健康。由于SF6气体具有优良的灭弧性能和绝缘性能以及良好的化学稳定性，它从20世纪50年代末开始被用作高压断路器的灭弧介质。在超高压和特高压断路器中，SF6作为灭弧介质，已取代油，并已大量取代了压缩空气。
化学性质
六氟化硫是一种无色、无臭、***、不燃的惰性气体，它的分子量为146.07，在20℃和0.1 MPa时密度为6.1kg/m3，约为空气密度的5倍。
化学性质稳定。微溶于水、醇及醚，可溶于氢yang化钾。不与氢氧hua钠、液氨及盐酸起化学的反应。300℃以下干燥环境中与铜、银、铁、铝不反应。发生上述中i毒现象时，应迅速将六氟化硫气体中i毒者移至空气新鲜处，并及时进行治i疗。500℃以下对石英不起作用。250℃时与金属Na反应，-64℃时在液氨中反应。与***混合加热则分解。200℃时，在特定的金属如钢及硅钢存在下，能促使其缓慢分解。
元素氟和硫直接反应法。
直接电解法 将硫、二氯化liu、一氯化硫、二liu化碳或***等加入到无水***中，以镍为阳极进行电解即可制得六氟化硫。用***与无水***电解时，以镍作极，铁作阴极，温度为－10～20℃，电压为7～20V。在气象、环境检测及其他部门用作示踪剂、标准气或配制标准混合气。电解产物应除去杂质;催化氧化法 金属氧化物为催化剂，于300℃下，用空气氧化四氟hua硫，该法缺点是收率过低。
热解法，在500～2000℃使SF4热解，但该法的转换率及收率皆低，采用微波放电分解SF4亦可。氟hua钴法 将硫磺或其他硫化物在三fu化钴和二氯hua钴存在下与过量氟作用以制备六氟化硫。（1）工作未开始之前，首先应测定现场周围环境空气相对湿度≤80％（即空气中水蒸汽密度和同温度下饱和水蒸汽密度比的百分值），这是限制空气含水具体示数。***与氟燃烧法。联产法 氯氟代***和六氟化硫联产，氟化碳（COF2）与六氟化硫联产。
纯净的SF6气体虽然***，但在工作场所要防止SF6气体的浓度上升到缺氧的水平。SF6气体的密度大约是空气的五倍、SF6气体如有泄漏必将沉积于低洼处，如电缆沟中。浓度过大会出现使人窒息的***，设计户内通风装置时要考虑到这一情况。
在电弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它们都有强烈的腐蚀性和毒性。因此在电力系统GIS等应用SF6的工作场所，要加装SF6气体泄漏监测设备。
电子捕获ECD原理
电子捕获检测器（electron capture detector)，简称ECD。装置的末端与一装有新脱水的KF的铁制干燥管相连，以隔离空气中的湿气。 电子捕获检测器也是一种离子化检测器，它是一个有选择性的高灵敏度的检测器，它只对具有电负性的物质，如含卤素、硫、磷、氮的物质有信号，物质的电负性越强，也就是电子吸收系数越大，检测器的灵敏度越高，而对电中性（无电负性）的物质，如烷烃等则无信号。
