工业废气，是指企业厂区内燃料燃烧和生产工艺过程中产生的各种排入空气的含有污染物气体的总称。按照类别划分主要有颗粒性废气和气态性废气。颗粒性废气污染物主要是生产过程中产生的污染性烟i尘。气态性废气则是工业废气中种类多也是危害性大的。目前气体性废气主要有含氮有机废气、含硫废气以及碳氢有机废气。为有效防止催化剂中i毒后丧失催化活性，在处理前必须彻底清除可使催化剂中i毒的物质，比如Pb、Zn和Hg等。
颗粒性废气，其来源主要有水泥厂、重型工业材料生产厂、***制造厂以及化工厂等。在生产中，此类企业所需原料需要经过提纯，由于杂质较多，提纯后的可燃物不能完全燃烧、分解，因此以烟i尘形态存在，形成废气，排放至大气中引发空气污染。
气态性废气来源广泛，一是化石燃料的燃烧，特别是不完全燃烧产生的硫氧化物、氮氧化物和碳氧化物等废气。二是煤炭、石油、天i然气、钢铁、有色金属、建材和化工等行业生产过程中产生的废气。
UV废气处理是通过紫外线光照技术将废气中的氧气分解为臭氧，利用臭氧与废气进行反应，将气体物质进行降解，再利用高能的UV光束裂解***的分子间，达到杀菌的目的。还降解技术成本低廉，运行稳定可靠，无需专人看护，但在废气处理的速度上较慢，相比低温等离子技术效率偏低。吸收法主要是采用低挥发或不挥发液体为吸收剂，利用有机废气能与其互溶的特点，来吸收废气中的***物质。
低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被迅速击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。 低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。(注：低温等离子体相对于高温等离子体而言，属于常温运行。) 等离子体反应区富含极高的物质，如高能电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质可与这些具有较高能量的物质发生反应，使污染物质在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到讲解污染物的目的。VOC废气处理技术——冷凝回收法在不同温度下，有机物质的饱和度不同，冷凝回收法便是利用有机物这一特点来发挥作用，通过降低或提高系统压力，把处于蒸汽环境中的有机物质通过冷凝方式提取出来。与传统的电晕放电形式产生的低温等离子技术相比较，等离子体技术放电密度是电晕放电的1500倍，这就是传统低温等离子体技术治理工业废气99%以失败而告终的原因。