净化车间是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、***空气、***等污染物排除，并将室内之温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
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每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的1级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于1级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。5μm及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。
机械性过滤—HEPA网 HEPA(High efficiency particulate air Filter)，中文意思为空气过滤器，达到HEPA标准的过滤网，对于0.3微米的有效率达到99.998%，HEPA网的特点是空气可以通过，但细小的微粒却无法通过。HEPA过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜构成，形成波浪状垫片用来放置和支撑过滤界质。