超声波清洗机的脱汽清洗的作用有两个，一方面是把液体的空气排出，增加液体的渗透力,是把超声波清洗机清洗槽里的液体的空气排掉，减少超声波空化反应产生的汽泡的阻力，增强超声波清洗机的清洗效率。
还有一方面则是为了提高超声波的功率，超声波清洗机工作时间久了会产生一种超声波疲劳，减低清洗效果和效率，排氧脱气功能还可以消除这种超声波疲劳，气泡会增加基线的噪音，造成灵敏度下降，甚至无法分析。
也可以用滑动冲洗法验证，每周用HB铅笔涂玻片，3分钟内用超声波清洗干净。记录结果。该方法操作简单，但不能定量检测，误差较大。或者是用淀粉碘化钾反应方法超声波清洗机性能验证。
将淀粉处理成光敏乳剂，涂在载玻片上，置于含有稀释碘溶液的超声波容器中。在超声空化作用下，碘和淀粉发生反应变成蓝色，导致玻片变色。对玻片进行冲洗干燥，通过对玻片变域的观察，推断出声场的分布。该方法可以弥补铝箔腐蚀法中铝箔损伤的缺陷，但不能进行定量检测。
超声波清洗设备的工艺及清洗液的选择
1.明确被洗件的材料构成、结构和数量.
2.分析并明确要清除的污物.
3.决定所要使用的清洗方法，判断应用水性清洗液还是用溶剂，终需做清洗实验。
只有这样，才能提供合适的清洗系统、设计合理的清洗工序以及清洗液。
超声波清洗设备在一定程度上需要考虑到清洗液的物理特性对超声清洗的影响，在进行使用时其中蒸汽压、表面张力、黏度以及密度应为显着的影响因素。温度能影响这些因素，所以它也会影响空化作用的效率。
