常用检漏方法
(1)气泡法:通常使用肥皂水或其他替代物正压检漏。优点:成本低廉,检测大漏点时不会有现代化检漏仪器清除污染的苦恼。
(2)吸入器检漏法:又名卤素检漏法,通常使用氟利昂F12,由于***环境保护要求已被限制使用。现在有的厂家已生产出使用化锂的新型卤素检漏仪。优点:方便、快捷、准确。能准确确认漏点(氦检漏只能确认某个接口有漏而不能具体确认漏点),并且其价格相对于氦检仪低廉。
(3)氦检漏法:即先将容器或试件抽空,将检漏仪接至抽气装置附近,然后在系统可能存在漏点处使用喷枪喷氦,如果存在漏点,氦气通过漏点被吸入系统,继而扩散到检漏仪的质谱室中,通过显示或音响提示。优点:测验精度高,尤其是在真空条件下具有的度。
氦质谱检漏仪故障与处理
内部的密封结构
当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧(见图2)，位于隔热板的上方：①检漏仪测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，检漏仪在运输过程中如遇到强烈震动，此处容易造成密封胶开裂。②各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5 年以上时，有可能会存在密封失效的问题。③各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。
氦质谱检漏仪原理
有两种方式可以检测出泄漏：
1. 示踪气体 A 放在容器里面，处于正压，然后用仪器去检测，容器周边是否有气体 A，如果容器外有气体 A，则容器有漏。用这种方式能检测出漏点，并能大概判断泄漏的程度。这种检漏方式叫 Sniffer 检漏或正压检漏。
2. 示踪气体 A 喷在容器外面，用仪器去检测容器里面是否有气体 A。这种方式能检测出漏点，并能测知漏率。这种检漏方式叫真空检漏。
如何选择检漏方式，与检测物件的工作环境有很大关系，尽量做到与检测物件的工作状态一致。如检测物件工作时内部处于正压，则用正压模式，如检测物件工作时内部处于负压，则用真空模式。
