硅微粉是由纯净石英粉经的超细研磨工艺加工而成,是用途极为广泛的无机非金属材料.具有介电性能优异、热膨胀系数低、导热系数高、悬浮性能好等优点.因其具有优良的物理性能、极高的化学稳定性、独特的光学性质及合理、可控的粒度分布,从而被广泛应用于光学玻璃、电子封装、电气绝缘、陶瓷、油漆涂料、精密铸造、硅橡胶、、化装品、电子元器件以及超大规模集成电路、移动通讯、手提电脑、航空航天等生产领域。
1 硅微粉的种类 耐火材料工业所用的 SiO 2微粉主要是微米级（μm）的? SiO 2微粉的种类很多，其中性能佳应用 广的当属硅灰 （硅铁合金厂及金属硅厂的副产 品）? 硅微粉的种类有： （1）硅灰：或称冷凝硅灰，由铁合金厂气相沉淀 形成?硅灰的主要成分是非晶质无定形的二氧化硅， 呈中空球状，有活性，比表面积大，表面能高，易吸水 发生团聚[1]?在高温冶炼炉内， 石英约在 2 000 ℃下被还原 成液态金属硅，同时也产生SiO 气体，随烟气逸出炉 外? SiO 气体遇到空气时被氧化成 SiO 2，即凝聚成非 常微小且具有活性的SiO 2颗粒? 经干式收尘装置收 集，即得到硅灰?硅灰是一种松散团聚在一起的球形 无定形粉体，具有较小的粒径（平均为 0.1~0.5 μm， 比表面积 15~30 m 2 /g），活性较大，能与水泥颗粒或 氧化镁颗粒反应水化， 提高混凝土和耐火材料的强 度，特别是耐火浇注料的强度。
球形硅微粉，主要用于大规模和超大规模集成电路的封装上，根据集程度（每块集成电路标准元件的数量）确定是否球形硅微粉，当集程度为1M到4M时，已经部分使用球形粉，8M到16M集程度时，已经全部使用球形粉。250M集程度时，集成电路的线宽为0.25μm，当1G集程度时，集成电路的线宽已经小到0.18μm，目前计算机PⅣ 处理器的CPU芯片，就达到了这样的水平。这时所用的球形粉为更的，主要使用多晶硅的下脚料制成正硅酸乙脂与四水解得到SiO2，也制成球形其颗粒度为 -（10～20）μm可调。这种用化学法合成的球形硅微粉比用天然的石英原料制成的球形粉要贵10倍，其原因是这种粉基本没有性α射线污染，可做到0.02PPb以下的铀含量。当集程度大时，由于超大规模集成电路间的导线间距非常小，封装料性大时集成电路工作时会产生源误差，会使超大规模集成电路工作时可靠性受到影响，因而必须对性提出严格要求。而天然石英原料达到(0.2～0.4) PPb就为好的原料。现在国内使用的球形粉主要是天然原料制成的球形粉，并且也是进口粉。
