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主动式扫描与多点触测式测头系统
扫描测量率高达500点/秒。
数据采集测力可调(50-1000mN)
ZEISS VAST XT gold:探针:长度=500mm,重量=500g(含吸盘),探针直径=0.5mm。
ZEISS VAST gold:探针:=800mm,重=600g(含吸盘),探针直径=0.3mm。
ZEISS VAST XTR gold:探针:长度(固定)=500mm,长度(旋转)=350mm,重量=500g(含吸盘),探针直径=0.5mm。

ZEISS DotScan
测量范围 1 mm 2)
配备共聚焦白光测距传感器,移动桥式坐标测量机销售,适用于ZEISS ***-DCAA
扫描测量速率高达1000点/秒。
工作距离:10,5mm ,分辨率28nm
可测量平面与光束夹角范围90°± 30°1) 光斑直径 8 μm
ZEISS DotScan
测量范围 3 mm 2)
配备共聚焦白光测距传感器,适用于ZEISS ***-DCAA
扫描测量速率高达1000点/秒。
工作距离:21,5mm ,分辨率36nm,
可测量平面与光束夹角范围90°± 24° 1) 光斑直径 9 μm

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