配气仪
质量流量计原理配气仪
原理
利用单片机控制质量流量计的流量，从而实现不同气体的配比。
特点
质量流量计原理的配气仪主要特点是配气精度高（小于0.5%），但价格较贵。对于不同种类的气体，需要采用不同的配气仪。只能配置设定出厂设定浓度范围内的气体。
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配气仪原理介绍
配气原理为质量流量混合法。采用精度很高的质量流量控制器，控制器稀释气体及组分气体的流量。稀释气体可采用高纯氮气、纯净空气等。组分气可以使用纯气或一定浓度的混合标气。通过准确的设置，便可配置出 10-8 -10-2含量的各种标准气体。
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配气仪的注意事项
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连接气瓶时，注意密封，防止漏气；
由于接口螺丝为聚四弗乙烯材料，不能承受过大扭矩，请试探操作。
仪器内部虽做了密封处理，但气瓶压力不应过大，能保证极限所需流量输出即可，尽可能小于0.1MPa,以减少漏气风险；
长时间不用仪器时，应关闭气瓶阀门。
