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广州潽拓光电——
结构组成:涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子(即动叶轮)、静叶轮和驱动系统等组成。
工作原理:
主要有立式和卧式两种。
动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度(一般为150~400米/秒)。单个叶轮的压缩比很小,涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸基本相同,但叶片倾斜角相反。图为20个动叶轮组成的整体式转子。每两个动叶轮之间装一个静叶轮。6、SV630以下为风冷,不需要水冷,经济方便7、低噪音,低振动。静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间保持1毫米左右的间隙,动叶轮可在静叶轮间自由旋转。
特点:抽速大、无油、启动快、无油污染、维护简单
工作范围:清洁的低真空~中、高真空,大气~超高真空极限真空:10-6/ 10-10torr
缺点:结构复杂、对轴承耐磨程度要求高、制造成本高
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极速维修普发德国莱宝LEYBOLD分子泵驱动器及分子泵电源
广州潽拓光电科技有限公司维修:
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广州潽拓光电——现货出售 莱宝 TURBOVAC 50 机械轴承分子泵
TURBOVAC 50属于机械轴承涡轮分子泵,用于从10-1 mbar(0.75 x 10-1 Torr)至10-10 mbar(0.75 x 10-10 Torr)的压强范围。对空气的抽速从35 l x s-1(进气口法兰直径 = 40mm(1.57in.))至1100 l x s-1(进气口法兰直径 = 250 mm(9.84in.))不等。该系列产品紧设计紧凑,采用可靠的陶瓷滚珠轴承且操作简单,适用于所有高真空和超高真空场合。前级耐压高前级耐压高达18mbar,da的优点是可以配更小的前级泵,如V301的分子泵只需配5m3/hr的SH-100的干泵或DS-102机械泵作为前级泵既可满足要求。TURBOVAC泵非常成功地应用于质谱分析应用、气体和液体色谱分析、CD、DVD和硬盘生产、大表面光学层制造和非腐蚀性半导体工艺。
TURBOVAC产品线的优势是:
- 无油,潽拓莱宝分子泵维修,可以实现清洁的高真空和超高真空条件;
- 运行高度可靠;
- 耐辐射;
- 设计紧凑。
技术特点:
- 占地面积更小;
- 任意方向安装;
潽拓光电科技---真空泵怎么***?
更换真空泵油及油过滤器,如果油受污染而发黑、乳化或变稠应及时换油。换油同时,应更换油过滤器。并在加入新油之前请清洗泵。
清洗、换油步骤:停泵将热油放掉;旋上放油塞,运转5-10秒,将油放尽;注入清洗用油(32号普通机械油)到油窗高度的3/4处;运转真空泵5-10分 钟;停泵,将油放掉。如放掉的油还是比较浑浊,达不到要求,重复3、4步骤,直到放出的油呈透明状;旋上放油塞运转5-10秒;将油放尽;注入规定的新油即可。- 绝大多数应用,对流冷却足以满足要求;
- 可以容易地添加风冷和水冷单元;
- 无油,有利于提供高真空和超高真空条件。
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