对于大面积镀膜，常采用旋转基片或多蒸发源的方式以保证膜层厚度的均匀性。从蒸发源到基片的距离应小于蒸气分子在残余气体中的平均自由程，以免蒸气分子与残气分子碰撞引起化学作用。蒸气分子平均动能约为0.1～0.2电子伏。
蒸发源有三种类型。①电阻加热源：用难熔金属如钨、钽制成舟箔或丝状，通以电流，加热在它上方的或置于坩埚中的蒸发物质电阻加热源主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。②高频感应加热源：用高频感应电流加热坩埚和蒸发物质。③电子束加热源：适用于蒸发温度较高的材料，即用电子束轰击材料使其蒸发。
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有必要等其他人员悉数脱离机械作业区，并拿走作业台上的杂物后，方可发动电源开动机械。
机械作业时，制止将手伸入滑块作业区，江门手机扣，制止用手取、放工件。在冲模内取、放工件时有必要运用符合规范的东西。如发现机械有异常声响或机器失灵，应立即封闭电源开关进行查看。机械开动后，由一人运料及机械操作，其他人不得按动电建或脚踩脚踏开关板，为了他人安全更不能将手放入机械作业区或用手触动机械的运动部分
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