不锈钢蚀刻预处理
不锈钢蚀刻预处理主要是指不锈钢材料在蚀刻前的清洁，清洁后的表面有利于后期防蚀层的制作。相对铜/铝合金来说，不锈钢不易氧化，所以清洗之后不需要钝化处理，所以不锈钢预处理比铜/铝合金预处理要简单一些。
同时不锈钢在碱性溶液中有较高的稳定性，可以选择较强的碱性溶液来进行清洁，在不锈钢蚀刻预处理中选择碱性溶液配方或者酸性溶液配方进行清洁都是可以的，不锈钢表面清洁的工艺流程具体可以分为：工件验收—装挂—化学除油—二级流动水洗—酸洗—三级流动水洗—除油效果检测—干燥—下挂，以上就完成了不锈钢预处理，之后就可以转入下一道制作防蚀层的工艺。兴之扬加工的不锈钢蚀刻网预处理就同以上工艺流程。
兴之扬蚀刻电视304不锈钢网小编来给大家讲解干法蚀刻电浆形成之原理：
电浆的产生可藉由直流(DC)偏压或交流射频(RF)偏压下的电场形成，如图5-3所示，而在电浆中的电子来源通常有二：一为分子或原子解离后所产生的电子，另一则为离子撞击电极所产生的二次电子(SecondaryElectron)，在直流(DC)电场下产生的电浆其电子源主要以二次电子为主，而交流射频(RF)电场下产生的电浆其电子源则以分子或原子解离后所产生的电子为主。
在电浆干法蚀刻中以直流方式产生辉光放电的缺点包含了：1)需要较高的功率消耗，也就是说产生的离子密度低；2)须要以离子撞击电极以产生二次电子，如此将会造成电极材料的损耗；3)所需之电极材料必须为导体。如此一来将不适用于晶圆制程中。
在射频放电(RFDischarge)状况下，由于高频操作，使得大部份的电子在半个周期内没有足够的时间移动至正电极，因此这些电子将会在电极间作振荡，并与气体分子产生碰撞。而射频放电所需的振荡频率下限将视电极间的间距、压力、射频电场振幅的大小及气体分子的解离位能等因素而定，而通常振荡频率下限为50kHz。一般的射频系统所采用的操作频率大都为13.56MHz。
兴之扬蚀刻电视304不锈钢网小编来给大家讲解什么是干法蚀刻：
电浆干法蚀刻主要应用于集成电路制程中线路图案的定义，通常需搭配光阻的使用及微影技术，其中包括了1)氮化硅(Nitride)蚀刻：应用于定义主动区；2)复晶硅化物/复晶硅(Polycide/Poly)蚀刻：应用于定义闸极宽度/长度；3)复晶硅(Poly)蚀刻：应用于定义复晶硅电容及负载用之复晶硅；4)间隙壁(Spacer)蚀刻：应用于定义LDD宽度；5)接触窗(Contact)及引洞(Via)蚀刻：应用于定义接触窗及引洞之尺寸大小；6)钨回蚀刻(EtchBack)：应用于钨栓塞(W-Plug)之形成；7)涂布玻璃(SOG)回蚀刻：应用于平坦化制程；8)金属蚀刻：应用于定义金属线宽及线长；9)接脚(BondingPad)蚀刻等。
影响干法蚀刻特性好坏的因素包括了：1)干法蚀刻系统的型态；2)干法蚀刻的参数；3)前制程相关参数，如光阻、待蚀刻薄膜之沉积参数条件、待蚀刻薄膜下层薄膜的型态及表面的平整度等。
