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816 质量流量
控制器
质量流量控制
器的英文名字
叫“MASS
FLOW
CONTROLLE
R”(简称
MFC)，它通
常由电路板、
传感器、进出
气管道接头、
分流器管道、
机壳、调节阀
等部件组成。
中文名 质量流
量控制器 外文
名 MASS
FLOW
CONTROLLE
R 用 途 用
于对于气体或
者液体的质量
特 点 精度
高，重复性好
类 型 质量
流量计
目录
1 简介
2 用途与特点
3 一般类型
简介编辑
质量流量控制
器
质量流量控制
器
它的工作电源
及流量显示和
设定等操作由
与其配套的流
量显示电源提
供。
用途与特点编
辑
质量流量控制
器（Mass
Flow
Controller缩
写为MFC）用
于对于气体或
者液体的质量
流量进行精密
测量和控制。
扩散，氧化，
分子束外延，
CVD，等离子
刻蚀，溅射，
离子注入，以
及真空镀膜设
备，光纤熔炼
，微反应装置
，混气配气系
统，毛细管测
量气象色谱仪
，光导纤维制
造设备中。并
广泛用于石油
化工。冶金，
制药等。特点
：精度高，重
复性好。
一般类型编辑
流量计一般分
为以下几种类
型：
1. 容积式流量
计，又称定排
量流量计。它
利用机械测量
元件把流体连
续不断的分割
成单个已知的
体积部分，根
据测量室逐次
重复的充满和
排放该体积部
分流体的次数
来测量流体体
积流量。
2. 浮子式流量
计，又称转子
流量计，是变
面积式流量计
的一种，在一
根由下向上扩
大的垂直锥管
中，圆形横截
面的浮子的重
力是由液体动
力承受的，从
而使浮子可以
在锥管中自由
的上升和下降
。
3. 差压式流量
计 ，是根据安
装于管道中流
量检测件产生
的差压，已知
的流体的条件
和检测间与管
道的尺寸来计
算流量的仪表
。
4. 涡街流量计
，在流体中安
放一根非流线
型游涡发生体
，流体在发生
体两侧交替的
分离释放出两
串规则地交错
排列的游涡的
仪表。
5. 涡轮流量计
，是速度式流
量计中的主要
种类，它采用
多叶片的转子
（涡轮）感受
流体平均流速
，从而推导出
流量或总量的
仪表。
6. 超声流量计
，通过检测流
体流动对超声
束（或超声脉
冲）的作用以
测量流量的仪
表。
7. 电磁流量计
，电磁流量计
是根据法拉弟
电磁感应定律
制成的一种测
量导电性液体
的仪表。电磁
流量计有一系
列优良特性,可
以解决其它流
量计不易应用
的问题,如脏污
流、腐蚀流的
测量。
8. 热式流量计
，热式流量计
传感器包含两
个传感元件，
一个速度传感
器和一个温度
传感器。它们
自动地补偿和
校正气体温度
变化。仪表的
电加热部分将
速度传感器加
热到高于工况
温度的某一个
定值，使速度
传感器和测量
工况温度的传
感器之间形成
恒定温差。当
保持温差不变
时，电加热消
耗的能量，也
可以说热消散
值，与流过气
体的质量流量
成正比，它适
合单一气体和
固定比例多组
份气体的测量
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B
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B
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V.0V
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V.0V
FIN1220.150.
V.0V
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V.0V
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V.0V
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V.0V
FIN1220.280.
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B
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B
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B
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V.0V
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电动机保护
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.1M
FIN900.010.1
C
FIN900.016.1
C
FIN900.030.1
C
FIN900.010.V
FIN900.016.V
FIN900.030.V
FIN900.050.V
FIN900.080.V
FIN900.100.V
FIN900.150.V
FIN900.200.V
FIN900.280.V
FIN900/FIN9
30 series
FIN930.006.
M
FIN930.012.
M
FIN930.016.
M
FIN930.025.
M
FIN930.032.
M
FIN930.042.
M
FIN930.055.
M
FIN930.070.
M
FIN930.080.
M
FIN930.100.
M
FIN930.115.
M
FIN930.150.
M
FIN930.200.
M
FIN950.010.
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M010
FIN960F.110.
M010
FIN960F.160.
M010
FIN960F.200.
M010
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M020
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M025
FIN960F.160.
M025
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M030
FIN960F.090.
M030
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M030
FIN960F.050.
M040
FIN960F.110.
M040
FIN960F.150.
M040
FIN960F.200.
M040
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M060
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M060
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M060
FIN960F.070.
M100
FIN960F.120.
M100
FIN960F.165.
M100
FIN960FN.20
0.M100
FIN905SF.00
5.M
FIN905SF.00
8.M
FIN905SF.01
0.M
FIN905SF.01
6.M
FIN905SF.02
5.M
FIN905SF.03
6.M
FIN905SF.04
8.M
FIN905SF.06
0.M
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5.M
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5.M
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0.M
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0.M
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0.B
FIN905SF.88
0.B
FIN915SFH.0
08.M
FIN915SFH.0
16.M
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FIN915SFH.0
50.M
FIN915SFH.0
75.M
FIN915SFH.1
00.M
FIN915SFH.1
50.M
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00.M
FIN915SFH.2
50.M
FINTR.3600
FINTR.4900
FINTR.6300
FINTR.10000
FINTR.14000
0
无源谐波滤波
器
FF020P101P1
0831
FF0013P901P
60830
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0829
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1003
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1010
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0978
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0979
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0980
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0981
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0982
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0983
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0984
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0985
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0986
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0987
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0988
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0990
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0993
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0994
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0995
FFP19370190
FFP11150330
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FF0P0049075
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0.M
FINHRM5.01
6.M
FINHRM5.03
2.M
FINHRM5.04
5.M
FINHRM5.08
0.M
FINHRM5.12
0.M
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0.B
FINHRM.016.
M
FINHRM.030.
M
FINHRM.050.
M
FINHRM.075.
M
FINHRM.100.
M
FINHRM.150.
M
FINHRM.200.
M
有源谐波滤波
器
FINHRMA.03
5.400
FINHRMA.03
5.480
FINHRMA.03
5.600
FINHRMA.05
0.400
FINHRMA.05
0.480
FINHRMA.05
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5.480
FINHRMA.07
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FINHRMA.09
0.480
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0.400
FINHRMA.03
0.150
并联滤波器
FIN130SP.00
1.M
FIN230SP.00
1.M
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M
FIN730.002.
MC
FIN730.001.
MLCP
FIN735.001.
M
FIN740.068.
M
功率因数校正
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150
FINSVG.035.
400
FINSVG.035.
480
FINSVG.035.
600
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400
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480
FINSVG.050.
600
FINSVG.075.
480
FINSVG.075.
600
FINSVG.090.
480
FINSVG.090.
600
FINSVG.090.
690
FINSVG.100.
400
FINSVG.150.
400
医疗和军事过
滤器
ENC201
ENR230
ENR205
ENT205-5K
ENT205-3K
稳压器
FINSMC.30.A
16
FINSMC.25.A
18
FINSMC.20.A
25
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36
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56
FINSMC.30.B
25
FINSMC.25.B
30
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42
FINSMC.15.B
59
FINSMC.10.B
87
FINSMC.30.C
33
FINSMC.25.C
45
FINSMC.20.C
59
FINSMC.15.C
85
FINSMC.10.C
117
FINSMC.30.D
47
FINSMC.25.D
62
FINSMC.20.D
82
FINSMC.15.D
115
FINSMC.10.D
177
FINSMC.30.E
68
FINSMC.25.E
85
FINSMC.20.E
115
FINSMC.15.E
164
FINSMC.10.E
247
FINSMC.30.F
93
FINSMC.25.F
120
FINSMC.20.F
164
FINSMC.15.F
230
FINSMC.10.F
320
FINSMT.30.A
1
FINSMT.25.B
1
FINSMT.20.B
2.5
FINSMT.10.B
3
FINSMT.30.B
2
FINSMT.25.B
3
FINSMT.20.B
4
FINSMT.15.B
5
FINSMT.10.B
8
FINSMT.30.C
3
FINSMT.25.C
4
FINSMT.20.C
6
FINSMT.15.C
7
FINSMT.10.C
10
FINSMT.30.D
6
FINSMT.25.D
8
FINSMT.20.D
10
FINSMT.15.D
15
FINSMT.10.D
20
FINSMT.30.E
12
FINSMT.25.E
15
FINSMT.20.E
21
FINSMT.15.E
30
FINSMT.10.E
40
FINSTC.30.A2
2
FINSTC.25.A3
0
FINSTC.20.A4
0
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5
FINSTC.10.A8
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FINSTC.20.B5
8
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15
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3
FINSTC.20.C8
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22
FINSTC.10.C1
90
FINSTC.30.D
70
FINSTC.25.D
85
FINSTC.20.D
110
FINSTC.15.D
165
FINSTC.10.D
260
FINSTC.30.E1
00
FINSTC.30.E1
00
FINSTC.20.E1
70
FINSTC.15.E2
30
FINSTC.10.E3
80
FINSTCA.153
5.A55
FINSTCA.153
5.B85
FINSTCA.153
5.C120
FINSTCA.153
5.D175
FINSTCA.153
5.E240
FINSTCA.153
5.F345
FINSTCA.153
5.G440
FINSTCA.153
5.H550
FINSTCA.153
5.I800
FINSTCY.30.
A48
FINSTCY.25.
A55
FINSTCY.20.
A75
FINSTCY.15.
A110
FINSTCY.10.
A170
FINSTCY.30.B
70
FINSTCY.25.B
90
FINSTCY.20.B
120
FINSTCY.15.B
170
FINSTCY.10.B
260
FINSTCY.30.
C100
FINSTCY.25.
C135
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C175
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FINSTCY.30.
D140
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FINSTCY.15.
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FINSTCY.10.
D530
FINSTCY.30.E
205
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255
FINSTCY.20.E
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FINSTCY.15.E
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FINSTCY.30.F
280
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FINSTCY.20.F
490
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690
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960
FINSTT.30.A3
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.5
FINSTT.20.A6
S
FINSTT.10.A9
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FINSTT.25.B6
.5
FINSTT.20.B1
2S
FINSTT.10.B1
7
FINSTT.30.C1
0
FINSTT.25.C1
3
FINSTT.20.C1
7
FINSTT.15.C2
2
FINSTT.10.C3
1
FINSTTA.153
5.A3.3
FINSTTA.153
5.B7.5
FINSTTA.153
5.C10.5
FINSTTA.153
5.D21
FINSTTA.153
5.E30
FINSTTY.30.A
3
FINSTTY.25.A
4.5
FINSTTY.20.A
6
FINSTTY.15.A
7.5
FINSTTY.10.A
10
FINSTTY.30.B
6
FINSTTY.25.B
9
FINSTTY.20.B
12
FINSTTY.15.B
15
FINSTTY.10.B
24
FINSTTY.30.C
9
FINSTTY.25.C
15
FINSTTY.20.C
18
FINSTTY.15.C
21
FINSTTY.10.C
30
FINSTTY.30.D
18
FINSTTY.25.D
24
FINSTTY.20.D
30
FINSTTY.15.D
45
FINSTTY.10.D
60
FINSTTY.30.E
30
FINSTTY.25.E
36
FINSTTY.20.E
46
FINSTTY.15.E
66
FINSTTY.10.E
105
FINSTTY.30.F
36
FINSTTY.25.F
45
FINSTTY.20.F
60
FINSTTY.15.F
90
FINSTTY.10.F
120
冲浪防护器
AM120SP100
-5
AM120SP200
-5
AM120SP300
-5
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-7
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-3
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-3
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S
AM240S200
-3S
AM240S300
-3S
BG.150??
1P25
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1P25
BG.320??
1P25
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1P25
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1P25
BG.150??
2P25
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2P25
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2P25
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2P25
BG.420??
2P25
BG.150??
3P25
BG.275??
3P25
BG.320??
3P25
BG.385??
3P25
BG.420??
3P25
BG.150??
4P25
BG.275??
4P25
BG.320??
4P25
BG.385??
4P25
BG.420??
4P25
BGG.150??
2P25??N50
BGG.150??
2P25??N100
BGG.275??
2P25??N50
BGG.275??
2P25??N100
BGG.320??
2P25??N50
BGG.320??
2P25??N100
BGG.385??
2P25??N50
BGG.385??
2P25??N100
BGG.420??
2P25??N50
BGG.420??
2P25??N100
BGG.150??
3P25??N50
BGG.150??
3P25??N100
BGG.275??
3P25??N50
BGG.275??
3P25??N100
BGG.320??
3P25??N50
BGG.320??
3P25??N100
BGG.385??
3P25??N50
BGG.385??
3P25??N100
BGG.420??
3P25??N50
BGG.420??
3P25??N100
BG.150-1P50
BG.275-1P50
BG.320-1P50
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BG.150-2P50
BG.275-2P50
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BG.150-3P50
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BG.150-4P50
BG.275-4P50
BG.320-4P50
BG.385-4P50
BG.420-4P50
BGG.150-
2P50-N50
BGG.150-
2P50-N100
BGG.275-
2P50-N50
BGG.275-
2P50-N100
BGG.320-
2P50-N50
BGG.320-
2P50-N100
BGG.385-
2P50-N50
BGG.385-
2P50-N100
BGG.420-
2P50-N50
BGG.420-
2P50-N100
BGG.150-
3P50-N50
BGG.150-
3P50-N100
BGG.275-
3P50-N50
BGG.275-
3P50-N100
BGG.320-
3P50-N50
BGG.320-
3P50-N100
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3P50-N50
BGG.385-
3P50-N100
BGG.420-
3P50-N50
BGG.420-
3P50-N100
BM.150??
1P12.5
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1P12.5
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1P12.5
BM.385??
1P12.5
BM.420??
1P12.5
BMG.150??
2P12.5??N25
BMG.150??
2P12.5??N50
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2P12.5??N25
BMG.275??
2P12.5??N50
BMG.320??
2P12.5??N25
BMG.320??
2P12.5??N50
BMG.385??
2P12.5??N25
BMG.385??
2P12.5??N50
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2P12.5??N25
BMG.420??
2P12.5??N50
BMG.150??
3P12.5??N25
BMG.150??
3P12.5??N50
BMG.275??
3P12.5??N25
BMG.275??
3P12.5??N50
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3P12.5??N25
BMG.320??
3P12.5??N50
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3P12.5??N25
BMG.385??
3P12.5??N50
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3P12.5??N25
BMG.420??
3P12.5??N50
EMG.150-
1P20
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1P20
EMG.320-
1P20
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1P20
EMG.150-
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3P20
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3P20
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EMG.320-
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4P20
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3P20N20
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3P20N20
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1P40
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1P40
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1P40
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1P40
EMG.150-
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EMG.275-
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EMG.320-
3P40
EMG.420-
3P40
EMG.150-
4P40
EMG.275-
4P40
EMG.320-
4P40
EMG.420-
4P40
EMGG.150-
3P40N40
EMGG.275-
3P40N40
EMGG.320-
3P40N40
EMGG.420-
3P40N40
EMG.150-
1P60
EMG.275-
1P60
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1P60
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1P60
EMG.150-
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EMG.275-
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3P60
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3P60
EMG.150-
4P60
EMG.275-
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4P60
EMG.420-
4P60
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3P60N60
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3P60N60
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3P60N60
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FINPR.275
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FINPR.150-
2P
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2P
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2P
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2P
FINPR.550-
2P
FINPR.690-
2P
FINPR.150-
3P
FINPR.275-
3P
FINPR.320-
3P
FINPR.420-
3P
FINPR.550-
3P
FINPR.690-
3P
FINPR.150-
4P
FINPR.275-
4P
FINPR.320-
4P
FINPR.420-
4P
FINPR.550-
4P
FINPR.690-
4P
FINPR.150-
PN
FINPR.275-
PN
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PN
FINPR.385-
PN
FINPR.420-
PN
FINPR.150-
3PN
FINPR.275-
3PN
FINPR.320-
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FINPR.385-
3PN
FINPR.420-
3PN
FINPRS.500
-M-CS
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FINPRS.600
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安全封装变压
器
EE 20-01/...
EE 20-03/...
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EI 66-41F/...
EI 84-21F/...
EI 84-31F/...
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UI 30-04F/...
UI 30-11/...
UI 30-14F/...
UI 39-12F/...
UI 39-15G/...
单相射频干扰
滤波器
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I
FIN80.003.VF
I
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I
FIN80.010.VF
I
三相电磁干扰
滤波器
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M
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M
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M
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M
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M
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FIN538S.030.
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0.V
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0.V
FIN538S1.28
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FIN538S1.25
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FIN539S.400.
B
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B
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B
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B
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B
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V
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FIN1200.280.
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FIN1200HHV.
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FIN1200HHV.
360.B
FIN1200HHV.
400.B
FIN1200HHV.
500.B
FIN1200HHV.
600.B
FIN1200HHV.
750.B
FIN1200HHV.
900.B
FIN1200HHV.
1000.B
FIN1200HHV.
1250.B
FIN1200HHV.
1500.B
FIN1200HHV.
1600.B
FIN1200HHV.
1750.B
FIN1200HHV.
2000.B
FIN1200HHV.
2250.B
FIN1200HHV.
2500.B
FIN1500.005.
V
FIN1500.010.
V
FIN1500.016.
V
FIN1500.030.
V
FIN1500.050.
V
FIN1500.080.
V
FIN1500.100.
V
FIN1500.150.
V
FIN1500.200.
V
FIN1500.250.
V
FIN1500.280.
V
FIN1500.280.
BC
FIN1500.320.
BC
FIN1500.360.
BC
FIN1500.400.
BC
FIN1500.500.
BC
FIN1500.600.
BC
FIN1500.750.
BC
FIN1500.900.
BC
FIN1500.100
0.BC
FIN1500.125
0.BC
FIN1500.150
0.BC
FIN1500.160
0.BC
FIN1500.175
0.BC
FIN1500.200
0.BC
FIN1500.225
0.BC
FIN1500.250
0.BC
FIN1500.300
0.BC
FIN1500HV.0
05.V
FIN1500HV.0
10.V
FIN1500HV.0
16.V
FIN1500HV.0
30.V
FIN1500HV.0
50.V
FIN1500HV.0
80.V
FIN1500HV.1
00.V
FIN1500HV.1
50.V
FIN1500HV.2
00.V
FIN1500HV.2
50.V
FIN1500HV.2
80.V
FIN1500HV.2
80.BC
FIN1500HV.3
20.BC
FIN1500HV.3
60.BC
FIN1500HV.4
00.BC
FIN1500HV.5
00.BC
FIN1500HV.6
00.BC
FIN1500HV.7
50.BC
FIN1500HV.9
00.BC
FIN1500HV.1
000.BC
FIN1500HV.1
250.BC
FIN1500HV.1
500.BC
FIN1500HV.1
600.BC
FIN1500HV.1
750.BC
FIN1500HV.2
000.BC
FIN1500HV.2
250.BC
FIN1500HV.2
500.BC
FIN1500HV.3
000.BC
FIN1600.007.
M
FIN1600.013.
M
FIN1600.018.
M
FIN1600.034.
M
FIN1600.055.
M
FIN1600.090.
M
FIN1600.110.
M
FIN1600.160.
M
FIN1600.200.
M
FIN1700.006.
M
FIN1700.012.
M
FIN1700.016.
M
FIN1700.025.
M
FIN1700.032.
M
FIN1700.042.
M
FIN1700.055.
M
FIN1700.070.
M
FIN1700.080.
M
FIN1700.100.
M
FIN1700.115.
M
FIN1700.150.
M
FIN1700.200.
M
FIN1700G.00
6.M
FIN1700G.01
2.M
FIN1700G.01
6.M
FIN1700G.02
5.M
FIN1700G.03
2.M
FIN1700G.04
2.M
FIN1700G.05
5.M
FIN1700G.07
0.M
FIN1700G.08
0.M
FIN1700G.10
0.M
FIN1700G.11
5.M
FIN1700G.15
0.M
FIN1700G.20
0.M
FIN1700E.00
7.M
FIN1700E.01
3.M
FIN1700E.01
8.M
FIN1700E.02
7.M
FIN1700E.03
4.M
FIN1700E.04
0.M
FIN1700E.05
5.M
FIN1700E.07
0.M
FIN1700E.10
0.M
FIN1700E.11
0.M
FIN1700E.13
0.M
FIN1700E.15
0.M
FIN1700E.20
0.M
FIN1700E.23
0.M
FIN1700EG.0
07.M
FIN1700EG.0
13.M
FIN1700EG.0
18.M
FIN1700EG.0
27.M
FIN1700EG.0
34.M
FIN1700EG.0
40.M
FIN1700EG.0
55.M
FIN1700EG.0
70.M
FIN1700EG.1
00.M
FIN1700EG.1
10.M
FIN1700EG.1
30.M
FIN1700EG.1
50.M
FIN1700EG.2
00.M
FIN1700EG.2
30.M
FIN1700IT.00
6.M
FIN1700IT.01
2.M
FIN1700IT.01
6.M
FIN1700IT.02
5.M
FIN1700IT.03
2.M
FIN1700IT.04
2.M
FIN1700IT.05
5.M
FIN1700IT.07
0.M
FIN1700IT.08
0.M
FIN1700IT.10
0.M
FIN1700IT.11
5.M
FIN1700IT.15
0.M
FIN1700IT.20
0.M
FIN1900.006.
M
FIN1900.012.
M
FIN1900.016.
M
FIN1900.025.
M
FIN1900.032.
M
FIN1900.042.
M
FIN1900.055.
M
FIN1900.070.
M
FIN1900.080.
M
FIN1900.100.
M
FIN1900.115.
M
FIN1900.150.
M
FIN1900.200.
M
FIN1900G.00
6.M
FIN1900G.01
2.M
FIN1900G.01
6.M
FIN1900G.02
5.M
FIN1900G.03
2.M
FIN1900G.04
2.M
FIN1900G.05
5.M
FIN1900G.07
0.M
FIN1900G.08
0.M
FIN1900G.10
0.M
FIN1900G.11
5.M
FIN1900G.15
0.M
FIN1900G.20
0.M
FIN1900E.00
7.M
FIN1900E.01
3.M
FIN1900E.01
8.M
FIN1900E.02
7.M
FIN1900E.03
4.M
FIN1900E.04
0.M
FIN1900E.05
5.M
FIN1900E.07
0.M
FIN1900E.10
0.M
FIN1900E.11
0.M
FIN1900E.13
0.M
FIN1900E.15
0.M
FIN1900E.20
0.M
FIN1900E.23
0.M
FIN1900EG.0
07.M
FIN1900EG.0
13.M
FIN1900EG.0
18.M
FIN1900EG.0
27.M
FIN1900EG.0
34.M
FIN1900EG.0
40.M
FIN1900EG.0
55.M
FIN1900EG.0
70.M
FIN1900EG.1
00.M
FIN1900EG.1
10.M
FIN1900EG.1
30.M
FIN1900EG.1
50.M
FIN1900EG.2
00.M
FIN1900EG.2
30.M
FIN1900S.04
2.M
FIN1900S.05
5.M
FIN1900S.07
0.M
FIN1900S.08
0.M
FIN1900S.10
0.M
FIN1900S.11
5.M
FIN1900S.15
0.M
FIN1900S.20
0.M
FIN3755.007.
M
FIN3755.016.
M
FIN3755.030.
M
FIN3755.042.
M
FIN3755.055.
M
FIN3755.075.
M
FIN3755.100.
M
三相加中性点
电磁干扰滤波
器
FIN15.003.M
FIN15.006.M
FIN15.010.M
FIN15.016.M
FIN15.020.M
FIN1240.005.
M
FIN1240.010.
M
FIN1240.016.
M
FIN1240.030.
M
FIN1240.050.
M
FIN1240.080.
M
FIN1240.100.
M
FIN1240.150.
M
FIN1240.200.
V
FIN1240.360.
B
FIN1240.500.
B
FIN1240.750.
B
FIN1240.100
0.B
FIN1740.006.
M
FIN1740.012.
M
FIN1740.016.
M
FIN1740.025.
M
FIN1740.032.
M
FIN1740.042.
M
FIN1740.055.
M
FIN1740.070.
M
FIN1740.080.
M
FIN1740.100.
M
FIN1740.115.
M
FIN1740.150.
M
FIN1740.200.
M
FIN1940.006.
M
FIN1940.012.
M
FIN1940.016.
M
FIN1940.025.
M
FIN1940.032.
M
FIN1940.042.
M
FIN1940.055.
M
FIN1940.070.
M
FIN1940.080.
M
FIN1940.100.
M
FIN1940.115.
M
FIN1940.150.
M
FIN1940.200.
M