与常规热处理相比，真空热处理加工技术可同时实现无氧化、无脱碳、无渗碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脱脂除气等作用，从而达到表面光亮净化的效果。
其实，真空热处理加工技术在国外应用的较早，美国和日本在1968年，先后研制出真空淬火油和水剂淬火介质，从而，真空淬火技术在热处理行业得到迅速发展，从单室炉发展到了多组合机群，从一般的真空淬火发展到高压气淬、真空水剂淬火、真空渗碳、真空碳氮共渗及多元共渗等。
热处理工艺一般包括加热、保温、冷却三个过程，其中加热是为了让珠光体向奥氏体转变，保温是完全奥氏体化，冷却方法因工艺不同而不同，主要是控制冷却速度，因冷却速度不同而分别转变为珠光体、贝氏体、马氏体或混合***。通常淬火时希望得到马氏体，淬火之后进行回火时根据回火温度的不同分别得到回火马氏体（低溫）、托氏体（屈氏体，中溫）、索氏体（高温）。基本反映了共析钢在不同温度下转变需要的孕育时间和转变完成时间及其转变产物。
根据钢冷却转变规律，希望在临界区域温度时冷却速度大，尽快通过C曲线的鼻子区域，以免转变成珠光体或贝氏体***，在马氏体转变开始的***区域，冷却速度必须慢下来以减少***转变产生***应力引起的变形甚至裂纹。双液淬火先在水中淬火然后转到油中冷却的道理即是如此。单液淬火即要求冷却介质具备这样的冷却特性：临界区域温度时冷却速度快，***区域温度时冷却速度要慢下来。淬火油的选择原则之二：高温时快冷低温时慢冷，兼顾硬度与变形的要求。
加热温度过高，不仅引起奥氏体晶粒粗大，而且晶界局部出现氧化或熔化，导致晶界弱化，称为过烧。钢过烧后性能严重恶化，淬火时形成龟裂。过烧***无法***，只能报废。因此在工作中要避免过烧的发生。
断口遗传：有过热***的钢材，重新加热淬火后，虽能使奥氏体晶粒细化，但有时仍出现粗大颗粒状断口。产生断口遗传的理论争议较多，一般认为曾因加热温度过高而使MnS之类的杂物溶入奥氏体并富集于晶界面，而冷却时这些夹杂物又会沿晶界面析出，受冲击时易沿粗大奥氏体晶界断裂。
