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Leybold早将陶瓷轴承应用于分子泵,其rotor设计充分考虑到加工的应力,转动的叶片和定子之间只有0.1毫米。制造公差达到微米级。在转速高达每分钟7.2万转时,叶片端部的速度接近超音速。
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分子泵的特点:
-操作维护方便,免维护周期长
-复合型分子泵在较高压强工作段扔有较大抽速
-油润滑分子泵:润滑油量小,且在前级真空段,对真空室污染小
-脂润滑分子泵:油脂量ji小,前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。
-全磁悬浮分子泵:无须润滑,与干泵一起使用,可获得无油的清洁真空环境。
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LEYBOLD TMP50 莱宝分子泵应用在:
检漏仪
质谱仪
电子束显微镜
电视管的制造
高真空室