十万级洁净室主要采用的送风方式：1.局部孔板顶棚送风;2.带扩散板有效空气过滤器顶棚送风;3.上侧墙送风等三种送风方式。
十万级洁净室主要采用的回风方式：1.单侧墙下部布置回风口；2.当采用走廊回风时，在走廊内均匀布置回风口或在走廊端部集中设置回风口。
送风口风速(米／秒)：1.孔板孔口3～5；2.侧送风口：（1）贴附射流2～5；（2）非贴附射流同侧墙下部回风1.5～2.5，对侧墙下部回凤1.0～1.5。
回风口风速（米／秒）：1.洁净室回风口不大于2；2.走廊内回风口不大于4。
随着我国国民经济的发展、社会的进步和人民生活水平的提高，洁净室已广泛应用于电子、生物制药、精密仪器制造等各行各业中，由于洁净室在温度、相对湿度及洁净度方面的巨大优势，它的重要性也越来越多地被人们所认识和接受。洁净室如何预防火灾事故的发生，我们认为关键是要把好建筑防火设计这道源头关，以杜绝先天火灾隐患的产生。本文就如何搞好洁净室的防火设计，谈一点见解，以供大家指正。
普通的蒸汽管虽然构造简单，容易加工，但喷出的蒸汽往往夹带凝结水滴，影响加湿效果的控制。通常用于湿度要求不严格的系统中。
利用干式蒸汽加湿器对空气进行加湿。干式蒸汽加湿器就是在喷管外设一蒸汽保温外套，在保温外套内通人高压蒸汽，因而保证喷管外壁有较高的温度，不至于在管内产生凝结水。蒸汽再经过加湿器简体、导流箱、导流管和加湿器内的简体，干蒸汽经喷管喷出加湿周围的空气。通常用于大型空调系统中。
