活塞式冷水机组活塞式冷水机组由活塞式制冷压缩机、风冷式或水冷式冷凝器、热力膨胀阀和蒸发器等组成，并配有自动或手动能量调节和自动安全保护装置，常用的水冷活塞式冷水机组冷凝器进出水温分别设置为32℃、37℃，蒸发器出口冷冻水温度设置为7度，冷量范围一般为35～580kW。螺杆式冷水机组螺杆式冷水机组是由螺杆式制冷压缩机、冷凝器、蒸发器、热力膨胀阀、油分离器、自控元件和仪表等组成的一个完整的制冷系统。在防微振方面,要求工厂建造在远离铁路、机场、公路干线且绿化较好的地区,厂区总平面布置要求单建的动力站房与洁净厂房之间留有足够的距离。
热泵机组根据冷却方式可分为风冷式热泵机组、水源热泵机组和土壤热泵三种。当空气中的粉尘通过电场时，粉尘受到负离子的冲击而带电，带有静电场后的粉尘电荷也同样受到静电场的作用，向阳极（集尘极）的运动是，到达阳极后释放电荷。活性炭的多孔结构为其提供大量的表面积，能与气体（杂质）完全接触，这使得活性炭具有吸附性能，很容易达到吸收和收集杂质的目的。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。像磁力一样，所有分子之间都具有相互吸引力。
关于精密仪器测量洁净车间实验室装修设计的通风设计，建议换气次数为：1 000级nv≮50；10 000级nv≮25；1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。100 000级nv≮15单向流洁净室送风量以房间截面平均风速为准来计算：Q2=3600u F（3）。其中F—垂直于气流的房间截面积，m2；υ—截面平均风速，m/s。《洁净厂房设计规范》G***073-2001中规定：洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的大值：补偿室内排风量和保持室内正压所需的新鲜空气量之和；保证供给洁净室内的新鲜空气量应不小于40m3/（h.人）。
百级洁净室设计装修参数标准：
1. 洁净度：粒径≥0.1微米的尘埃粒子数量需要小于100个。
2. 压差及温湿度：温度22℃±2;湿度55%±5;基本房间要满布ffu，做高架地板。做MAU ffu DC系统。还有保持正压，相邻房间压力梯度保证在10pa左右。
3. 照度：由于无尘洁净室的工作内容大多有精细的要求，而且又都是密闭性房屋，所以，对照明一向有很高的要求。主要有以下几点：
4. 局部照明：这是指为增加某一地点的照度而设置的照明。但在室内照明中一般不单独使用局部照明。
5. 混合照明：指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成照明，其中，一般照明的照度应占总照度的10%-15%。
