机械密封件；用途为半导体制造设备匀胶机用。轴与设备之间存在一个圆周间隙，设备中的介质通过该间隙向外泄漏，如果设备内压力低于大气压，则空气向设备内泄漏，因此必须有一个阻止泄漏的轴封装置。原理为磁铁和转轴所构成的磁性回路，在磁铁产生的磁场作用下，把放置在轴与顶端缝隙间的磁流体加以集中，使其形成一个所谓的“O”形环，将缝隙通道堵死而达到密封的目的。功能为把旋转运动传递到密封容器内，实现真空密封。行业上称为“转动轴封”
安装时注意事项
（1）要十分注意避免安装中所产生的安装偏差
a、上紧压盖应在联轴器找正后进行，螺栓应均匀上支，防止压盖端面偏斜，用塞尺检查各点，其误差不大于0.05毫米。
b、检查压盖与轴或轴套外径的配合间隙（即同心度），四周要均匀，用塞尺检查各点允差不大于0.01毫米。
（2）弹簧压缩量要按规定进行，不允许有过大或过小现象，要求误差2.00毫米。过大会增加端面比压，另速端面磨损。过小会造成比压不足而不能起到密封作用。
（3）动环安装后髯保证能在轴上灵活移动，将动环压向弹簧后应能自动弹回来。
1、基本结构
1）端面密封摩擦副
2）缓冲补赏和压紧机构
3）辅助密封（二级密封挠性元件）
4）传动机构
2、基本密封点
1）端面主密封点
2）静环与端盖辅助密封点
3）动环与轴（轴套）辅助密封点
4）端盖与泵体连接密封点
机械密封的优缺点
1、优点
（1）结构可靠，泄漏量可以限制到很少，只要主密封面的表面粗糙度和平直度能保证达到要求，只要材料耐磨性好，机械密封可以达到很少泄漏量，甚至肉眼看不见泄漏。
（2）寿命长。在机械密封中，主要磨损部分是密封摩擦副端面，因为密封端面的磨损量在正常工作条件下不大，一般可以连续使用1～2年，特殊场合下也有用到5～10年。
（3）运转中无需调整。由于机械密封靠弹簧力和流体压力使摩擦副贴合，在运转中自动保持接触，装配后就不用像普通软填料那样需调整压紧。
（4）具有耐耐振性。在转速为3000r/min下振幅不超过 0.05mm使用PV值不断提高。
（5）功率损失小。填料密封是靠盘根的压紧在轴上或轴套上起作用的。填料密封与轴直接摩擦，填料压的越紧摩擦力就越大、消耗功率也就越大。而机械密封的摩擦是处于半液摩擦状态，摩擦系数非常的小，机械密封的功率损失是填料密封的10～50%。
（6）波纹管密封轴或轴套不受磨损，对旋转轴的振摆和轴对壳体的偏斜不敏感。
（7）适用范围广。当介质、、******时，采用机械密封可保证密封。它还适用于高温、低温、高压、真空各种转速的及腐蚀介质的设备密封。
