选择真空机组：
(1) 当使用一种深圳真空泵不能满足抽气及真空要求时，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足工艺要求。
(2) 有的甚至真空泵不能在大气压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压力低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵，我们称之为真空泵机组，它能使真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的真空泵，由于不同的真空泵对抽除的气体要求有不同的要求，例如：在一般情况下罗茨-旋片机组不适用于含有较多可凝性气体的系统。
爱德华EH1200罗茨真空泵维修
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超高真空校准 超高真空计是超高真空全压力测量的重要工具，为了得到准确的测量结果，必 须对真空计进行校准以保证在超高真空条件下应用的可靠性。此外，对于冷阴极电 离规的非线性，尽管生产厂家作了线性处理，但如果不进行校准仍会带来很大误 差。热阴极电离规在线性测量范围内要达到测量精度也需要进行校准。校准是在专 门的超高/或极高真空校准系统中进行的。
真空度不足
原因分析：（1）水环工作不稳定。如果进水管发生了结垢以及进口电磁阀出现了堵塞情况的时候，泵工作水供应就会因此而出现不足，从而使得水环工作不稳定，此时泵由于偏离设计工况而运行，必然会存在出力下降的情况，进而导致系统真空度下降。应对方法是清除进水管结垢，并使进口电磁阀保持通畅。（2）进口单向阀失效。当阀片由于结垢、存在锈蚀后或发生卡涩吸不上去的时候，就会导致串气现象发生，即空气会从备用泵入口被吸入工作泵，从而使得泵功耗增加以及系统真空度发生下降。应对方法是清除阀片结垢或更换新的阀片。（3）密封不良。在轴端密封不良或密封失效的情况下，如果有外部空气被吸入了爱德华真空泵内，就会导致系统真空度发生下降情况，并伴随泵的两个进气管出现温度不相同等现象。
维修处理：检查轴端，确保密封严实。有时密封水泄漏量会发生偏大的现象，如果误判是盘根压紧力不足所导致，进一步压紧盘根后，会导致摩擦力因此而增大，进而使得轴功率升高。此时真实原因可能是工作水量过大，所以压紧盘根不能盲目。
在更换O型圈、油封等密封件时不应用尖锐的工具，避免损伤，O型圈组装时，注意密封圈不允许扭曲变形，要保证滑动过程中的润滑性能。
