




一、镀膜室极限压力的测定1、试验条件:(1)镀膜室内没有安放基材(空载状态);(2)用来测量的真空计应和设备本身是配套的,且为有效期之内;(3)在抽气过程中,对镀膜室用设备配套的加热轰击装置进行除气;(4)真空测量规管应装于镀膜室壁上或***靠近镀膜室的管道上;(5)对具有中搁板、上卷绕室和镀膜室的卷绕镀膜设备,应在两室同时抽气时对镀膜室的压力进行测试。2、测试方法:连续对镀膜室抽气24h这一时间段之间,测定出过程中的压力***低值,则定为该设备的极限压力。如果压力变化值在0.5h内没有超过5%的波动,则取***高测量表读数值作为极限压力值。 次数用完API KEY 超过次数限制

高精度真空镀膜装置,抽真空装置包括真空泵和真空压力传感器,真空压力传感器设置于***真空室内;新型高精度真空镀膜装置提高了镀膜厚度控制精度,提高了产品加工工艺的重复性。真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术,在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。其被广泛应用于生产光学镜片,如航海望远镜镜片等;后延伸到其他功能薄膜,唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等。真空蒸发镀膜是在真空室中,加热蒸发容器中待形成薄膜的原材料,使其原子或分子从表面气化逸出,形成蒸气流,入射到待镀膜固体上,即衬底或基片表面,从而凝结形成固态薄膜的方法。 次数用完API KEY 超过次数限制

薄膜的成膜过程,是一个物质形态的转变过程,不可避免地在成膜后的膜层中会有应力存在,对于多层膜来说有不同膜料的组合,各膜层体现出的应力是有所不同的,有的是张应力、有的是压应力,还有膜层及基片的热应力。
应力的存在对膜强度是***的,轻者是膜层耐不住摩擦,重者,造成膜层的龟裂或网状细道子。
对于减反膜,由于层数不多,应力一般体现不明显,(但有些硝材的镜片即便是减反膜也有应力问题存在。)而层数较多的高反膜、滤光膜,应力是一个常见的不良因素,应特别注意。 次数用完API KEY 超过次数限制
