氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
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氦质谱检漏仪能为不同的需求提供不同的测量方法
氦质谱检漏仪原理的氦质谱检漏仪特点：
1.检测时间和周期非常短，可以达到5s以内；
2.检测的介质比较常用，仅需压缩空气即可；
3.不会受到主观因素判断的影响；
4.检测的数据精准；
5.自动生成数据保存，可追溯数据来源。
氦质谱检漏仪进展的集中体现在如下几个方面：
（1）便携式：***近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。
（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。
（3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。
（4）全无油的干式检漏：有些***生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。
（5）检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。
氦质谱检漏仪能为不同的应用提供广泛的测试方法，含有涡轮分子泵、内置机械泵、外置机械泵、光谱、仪管、阀组、检漏仪电子元件和操作页面，以及可选功能组件。氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用,例如,在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、飞机等这些都要用到真空检漏技术。
氦质谱检漏仪原理简介
氦质谱检漏仪通常由真空系统、质谱室及测量电路组成, 其中核心为质谱室。质谱室又由离子源、分析器、收集器三部分组成。其一般的原理是将进入质谱室中的混合气体进行电离, 形成具有一定能量的离子, 这些离子由于质荷比的不同, 在分析器中将按不同轨迹运动从而彼此分开, 仅使氦离子在收集极上收集并终放大显示。因此, 氦质谱检漏仪在本质上讲可以看成是氦气原子的计数器。其无论输出显示的是电压值还是漏率值, 虽然表现形式不一样, 但这些显示值必将都与进入质谱室中的氦气原子的摩尔数是线性正比的。在有些文献上, 也将检漏仪的输出显示值看成与进入质谱室中的氦分压成线性正比的。这在本质上是一致的, 可以通过理想气体的状态方程进行简单的转换。在一般的氦质谱检漏仪中, 被检件接在检漏仪的高真空侧( 即检漏仪的质谱室) , 当被检件漏气或出气较大时, 质谱室中的压力将超过仪器的工作压力, 此时检漏仪就无法进行工作了, 因此, 实际工程中往往采用逆流检漏仪。逆流检漏仪是利用高真空泵的
压缩比与被抽气体质量有关的原理来工作的。气体的质量越小, 压缩比也就越小, 因此逆扩散的示漏气体的分子数就越多, 这些逆扩散的分子进入质谱室,终形成了检漏仪的输出读数。现在工程实际中所使用的检漏仪几乎全是逆流检漏仪, 因此, 本文着重分析逆流检漏仪。
吸枪是氦质谱检漏仪的一种取样探头。目前大多数吸枪采用针阀式结构, 可以调节吸枪的流导以满足检漏仪的工作压力需求。因此, 可以通过调节吸枪, 在检漏仪的工作压力范围内改变入口压力, 来考察入口压力的变化对吸枪检漏数据的影响。本文的试验部分就是基于这样的设想完成的。
