氧化锆存在三种稳定度同素异晶体：单斜相，立方相和四方相。纯氧化锆的单斜相从室温到1170℃是稳定的，超过这一温度转变为四方相，然后在2370℃转变为立方相，直到2680℃发生融化。由单斜相转变为四方相有滞后现象。
氧化锆(YSZ)晶体产品规格：常规晶向：lt;100gt;, lt;110gt;, lt;111gt;；晶向公差：±0.5°；常规尺寸：dia2"x0.5mm, 10x10x0.5mm, 10x5x0.5mm；抛光情况：单抛或双抛，Ralt;5A。注：可按客户需求定制相应的方向和尺寸。
氧化锆由于ZrO2单晶需掺入钇（Y）以稳定其结构， 一般实际使用的是YSZ单晶――加入钇稳定剂（含量约19%）的氧化锆单晶。它机械、化学稳定性好，价格较低因而得以广泛应用。氧化锆(YSZ)单晶基片是***早应用于高温超导薄膜的材料之一。一般使用的氧化锆需要掺入钇作为稳定剂,常见浓度有13 mol%,YSZ具有机械和化学稳定性好、成本低的特点。
常温下保持立方相的氧化锆晶体，具有硬度高(莫氏硬度8~8.5)，折射率高(于6830?处，n≈2.149)，色散性强(~0.056)和化学稳定性好等特性。氧化锆(YSZ)晶体产品规格：常规晶向：lt;100gt;, lt;110gt;, lt;111gt;；晶向公差：±0.5°；常规尺寸：dia2"x0.5mm, 10x10x0.5mm, 10x5x0.5mm；抛光情况：单抛或双抛，Ralt;5A。注：可按客户需求定制相应的方向和尺寸。
在高温下 ，氧化锆属于立方萤石型结构，因为Zr4 直径大于O2-离子直径，所以可以认为，由Zr4 构成面心立方点阵，占据1/2的八面体空隙，O2-离子占据面心立方点阵所有四个四面体空隙。常温下， 氧化锆只能是单斜相，当用锆盐煅烧，达到650℃时，出现稳定的四方相，继续升高时四方相逐步转变为单斜相，再继续升温至830℃时， 氧化锆又开始向四方相转变，至1170℃时，完全转变为四方相，温度升至2370℃时转变为立方相.
